[发明专利]超合金涡轮部件及通过带电粒子轰击的相关制造方法

权利要求书

1.一种用于制造涡轮部件(1)的方法，所述涡轮部件包括：

基于单晶镍的超合金基底(2)，

覆盖该基底的金属结合层(3)，以及

覆盖该结合层的保护性金属氧化物层(4)，

所述方法包括以下步骤：

a)对所述金属结合层的表面(16)进行带电粒子轰击(7)以使得所述表面具有100nm至1μm的平均粗糙度，随后

b)于在步骤a)中经轰击的表面上形成该保护性层(4)。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述带电粒子轰击通过等离子体来进行。

3.根据权利要求1或2所述的方法，包括：在所述方法的步骤a)之前，在该基底上气相沉积所述金属结合层的步骤。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，包括：在步骤a)和步骤b)之间，在真空下将所述部件加热至1000℃以上的温度的步骤。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其中，在沉积所述金属结合层和步骤a)之间，将所述部件加热至800℃至1200℃之间。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其中，在步骤a)期间，旋转所述部件。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其中，在步骤a)和步骤b)之间，使所述部件保持在真空下。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的方法，其中，在步骤b)期间，将所述部件加热至1000℃以上的温度。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的方法，其中，步骤a)在第一真空腔室(13)中进行，步骤b)在第二真空腔室(14)中进行，并且其中，在步骤a)和步骤b)之间，将所述部件经通道(9)从所述第一腔室转移至所述第二腔室，其中所述通道保持在真空下并且连接这两个腔室。

10.一种涡轮部件(1)，包括

基于单晶镍的超合金基底(2)，

覆盖该基底的金属结合层(3)，以及

覆盖该结合层的保护性金属氧化物层(4)，

其特征在于，所述金属结合层具有与该保护性层接触的表面(16)，并且所述表面具有100nm至1μm之间的平均粗糙度。

11.根据权利要求10所述的涡轮部件，其中，所述表面粗糙度的标准偏差小于表面(16)的平均粗糙度的20％。

12.根据权利要求10或11所述的涡轮部件，其中，该保护性层包括α相的氧化铝层。