[发明专利]等离子体处理设备

权利要求书

1.一种等离子体处理设备，其用于实施电阻挡等离子体放电，所述等离子体处理设备包括一具有处理侧(5)的电极单元(1)和一供给单元(10)，所述电极单元(1)能够与所述供给单元机械连接并且电接触，以便被供给用于产生等离子体所需的供给电压，其中，所述电极单元(1)具有电极组件，所述电极组件至少朝所述处理侧(5)通过面状的电介质(2)屏蔽，其特征在于，所述电极单元(1)具有编码，并且所述供给单元(10)具有用于所述编码的识别装置，并且所述识别装置与控制装置连接，所述控制装置根据识别出的编码来控制用于产生等离子体的供给电压。

2.根据权利要求1所述的等离子体处理设备，其特征在于，所述电极单元(1)具有延续部(6)，所述延续部能够插入到所述供给单元(10)的接收部(11)中，并且所述延续部(6)承载编码。

3.根据权利要求1或2所述的等离子体处理设备，其特征在于，所述编码以凸起(8)的形式机械地构造，并且所述识别装置构造有能由所述凸起(8)操纵的翻转开关(20)。

4.根据权利要求3所述的等离子体处理设备，其特征在于，所述翻转开关(20)设计用于切换所述供给单元(10)中的供给电压。

5.根据权利要求1或2所述的等离子体处理设备，其特征在于，所述编码以光学形式构造，并且所述供给单元(10)设置有光学识别装置。

6.根据权利要求1或2所述的等离子体处理设备，其特征在于，所述编码借助至少一个永磁体实现，通过所述永磁体能够操纵所述供给装置(10)的至少一个开关。

7.根据权利要求1或2所述的等离子体处理设备，其特征在于，所述电极单元(1)包含应答器，所述应答器能够借助所述供给单元(10)的识别装置来查询。

8.根据权利要求7所述的等离子体处理设备，其特征在于，所述供给单元(10)的探测器建立所述供给单元(10)与所述电极单元(1)之间建立的连接并且接着生成用于所述识别装置的查询信号。