[发明专利]信息处理装置、制造辅助系统、阀的组装方法及设备更换方法

说明书

提供一种能够容易地制造具有合适规格的设备的技术。根据信息处理装置(1)，分析部(11A)基于阀(30)的使用信息来创建表示适合阀(30)的合适规格的合适规格信息，规格比较部(11B)将合适规格信息与表示预定规格的规格信息进行比较，规格更新部(11C)基于规格比较部(11B)所做的比较结果更新阀(30)的规格信息，制造条件创建装置(制造条件创建部(11D)、制造条件更新部(11E))基于通过规格更新部(11C)所更新的规格信息来创建阀(30)的制造条件，指示信息创建部(11G)基于通过制造条件确定装置所确定的制造条件创建用于在显示设备(3)上显示的有关阀的制造的指示信息。

技术领域

本发明涉及信息处理装置、制造辅助系统、阀的组装方法及设备更换方法。

背景技术

半导体工艺中会使用各种配方(レシピ)，若各配方不同则对于半导体工艺中使用的阀所要求的性能也不同。因此，期望制造适于各半导体工艺的阀。

发明内容

(一)要解决的技术问题

但是，为了制造适于各半导体工艺的阀，需要为每一个阀准备纸质制造手册，而这会将大量的纸带进无尘室内，因此并不实际。

因此，量产高规格的阀而用于半导体工艺，但是导致了由超规格造成的阀的高价化。

因此，本发明的目的在于提供一种能够容易地制造具有合适规格的设备的技术。

(二)技术方案

为解决上述目的，本发明的一实施方式的信息处理装置具备：合适规格创建装置，基于根据制造条件所制造出的设备的使用信息，创建表示适于设备的合适规格的合适规格信息，其中，所述制造条件基于规格信息；以及制造条件确定装置，基于通过所述合适规格创建装置所创建的所述合适规格信息，确定设备的制造条件。

还可以具备：规格比较装置，将所述合适规格信息和表示预定规格的所述规格信息进行比较；规格更新装置，基于由所述规格比较装置所做出的比较结果，更新设备的所述规格信息；及指示信息创建装置，基于通过所述制造条件确定装置所确定的制造条件，创建用于在显示设备上显示的、有关所述设备的制造的指示信息。

此外，所述合适规格创建装置也可以基于表示所述预定规格的所述规格信息和/或所述合适规格信息、及有关所述规格信息的累积信息，创建所述合适规格信息。

本发明的一实施方式的制造辅助系统，具备：上述的信息处理装置；及显示设备，显示通过所述指示信息创建装置所创建的所述指示信息。

所述显示设备也可以与拍摄装置一体构成。

本发明一实施方式的使用了上述制造辅助系统的阀的组装方法中，所述设备是阀，所述制造条件包含所述阀的阀体的物性值、所述阀体的尺寸、所述阀在制造时的周围的温度范围中的任一个、及所述阀的泄漏检测方法。

所述制造条件也可以包含所述阀的行程量。

本发明一实施方式的设备更换方法，基于通过信息处理装置中的制造条件确定装置所确定的制造条件来制造设备，用制造出的设备更换获得了使用信息的设备。

(三)有益效果

根据本发明，可提供一种能够容易地制造具有合适规格的设备的技术。

附图说明

图1表示具备本发明实施方式的制造指示信息创建装置的制造辅助系统的构成图。

图2表示流体控制装置的外观立体图。

图3表示阀的前视图。

图4是表示使用信息表的构成例的图。

图5是表示规格信息表的构成例的图。