[发明专利]清洗装置以及清洗方法

权利要求书

1.一种清洗装置，其是从喷嘴喷吐出含有磨粒的清洗液，并使该清洗液冲击多晶硅的制造中所用的钟罩的内壁面，以对上述内壁面进行清洗的清洗装置，

上述清洗装置的特征在于，

具备：第1清洗单元，该第1清洗单元具有沿着通过上述钟罩的上部弯曲内壁面的顶点的弧的至少一半的形状而配置的多个上述喷嘴；以及

第2清洗单元，该第2清洗单元具有沿着上述钟罩的侧部直筒内壁面的高度方向的形状而配置的另外的多个上述喷嘴，

并且具备驱动机构，该驱动机构在使上述第1清洗单元的上述喷嘴靠近上述上部弯曲内壁面的状态、和使第2清洗单元的上述喷嘴靠近上述侧部直筒内壁面的状态下，使上述第1清洗单元和上述第2清洗单元相对于上述钟罩而作相对移动。

2.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，

上述驱动机构具备：

第1驱动部，该第1驱动部在使上述第1清洗单元的上述喷嘴靠近上述上部弯曲内壁面的状态下，使上述第1清洗单元移动；以及

第2驱动部，该第2驱动部在使上述第2清洗单元的上述喷嘴靠近上述侧部直筒内壁面的状态下，使上述第2清洗单元移动。

3.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，

上述第2清洗单元具有沿着上述钟罩的侧部直筒内壁面的圆周方向的形状配置成环状的其它另外的多个上述喷嘴，

上述驱动机构具备：

第1驱动部，该第1驱动部在使上述第1清洗单元的上述喷嘴靠近上述上部弯曲内壁面的状态下，使上述第1清洗单元移动；以及

第3驱动部，该第3驱动部在使上述第2清洗单元的上述喷嘴靠近上述侧部直筒内壁面的状态下，使上述第2清洗单元移动。

4.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，

上述驱动机构设置于清洗空间的外部。

5.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，

该清洗装置的从旋转部到喷嘴为止的清洗液流路具有可挠性。

6.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，

上述驱动机构具备钟罩驱动部，该钟罩驱动部在使上述第1清洗单元的上述喷嘴靠近上述上部弯曲内壁面的状态、和使第2清洗单元的上述喷嘴靠近上述侧部直筒内壁面的状态中的至少一种状态下，使上述钟罩移动。