[发明专利]用于光束扫描的测量探针

权利要求书

1.一种用于扫描光束（10）的装置，其包括具有光束入射面（22）、光束出射面（23）、样品光出射面（25）以及探针区域（30）的扫描体（20），所述装置还包括检测器（40）和用于提供扫描体（20）与光束（10）之间的相对运动的装置，

- 其中所述扫描体（20）在纵向轴线（19）的方向上是杆状延伸的，并且由对光束（10）透明的导光材料组成，

- 其中扫描体（20）具有用于在扫描体（20）上形成表面部分（27）的凹槽（21），所述表面部分（27）包括光束入射面（22）或光束出射面（23），

- 其中光束入射面（22）的法线方向（28）相对于光束出射面（23）的法线方向（29）以5°至20°范围的角度（α）倾斜，

- 其中扫描体（20）包括探针区域（30），

- 其中探针区域（30）布置在扫描体（20）的横截面平面（26'）中，所述横截面平面（26'）位于凹槽（21）区域中，垂直于纵向轴线（19）并且邻接表面部分（27），

- 其中在布置了探针区域（30）的横截面平面（26'）中的扫描体（20）的第一横截面尺寸（D'）是位于凹槽（21）外部的、垂直于纵向轴线（19）的横截面平面（26）中的扫描体（20）的第二横截面尺寸（D）的至少50％，

- 其中探针区域（30）具有光偏转结构，以及

- 其中检测器（40）被布置用于检测至少一部分由探针区域（30）从光束（10）偏转的光束分量（15）。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于由凹槽（21）形成的表面部分（27）的尺寸大于探针区域（30）的尺寸（33）。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于所述凹槽（21）形成的表面部分（27）的尺寸比探针区域（30）的尺寸（33）大至少十倍。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于所述扫描体（20）在纵向轴线（19）方向上具有长度（L），所述长度（L）至少是扫描体（20）的第二横截面尺寸（D）的四倍。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于探针区域（30）到具有样品光出射面（25）的扫描体（20）的后端的距离是扫描体（20）的第二横截面尺寸（D）的至少三倍。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于探针区域（30）在纵向轴线（19）方向上到扫描体的前端的距离（s）至少是扫描体（20）的第二横截面尺寸（D）的一半。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于探针区域（30）到光束入射面（22）的距离最大为扫描体（20）的第二横截面尺寸（D）的十分之一。

8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于探针区域（30）的光偏转结构由多个结构细节（31）构成。

9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于探针区域（30）的光偏转结构通过聚焦的短脉冲激光来产生。

10.根据权利要求1所述的装置，其特征在于探针区域（30）的尺寸（33）小于待扫描的光束（10）的最小光束横截面的一半尺寸。

11.根据权利要求1所述的装置，其特征在于在所述扫描体（20）的样品光出射面（25）和检测器（40）之间布置有用于光收集的装置（44），并且其中用于光收集的装置（44）包括以下元件中的至少一个：透镜、凹面镜、或波导。

12.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，所述透镜包括梯度折射率透镜。

13.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，所述波导包括光导。