[发明专利]微机械光转向设备

权利要求书

1.一种微机械光转向设备(1)，所述微机械光转向设备包括微机械光转向装置(2)和透光的覆盖装置(3)，所述透光的覆盖装置用于所述微机械光转向装置(2)，其中，所述透光的覆盖装置(3)具有用于光束(9)的至少一个无源射束成形装置(4，4a，4b)。

2.根据权利要求1所述的微机械光转向设备，其中，所述无源射束成形装置(4，4a，4b)布置在用于所述微机械光转向设备(1)的入口(7)处。

3.根据权利要求1-2中任一项所述的微机械光转向设备，其中，所述无源射束成形装置(4，4a，4b)包括至少一个透镜(4)、尤其一个或多个柱形构造的透镜(4a，4b)。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的微机械光转向设备，其中，所述无源射束成形装置(4，4a，4b)布置在用于所述微机械光转向设备(1)的出口(8)处。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的微机械光转向设备，其中，所述透光的覆盖装置(3)以平坦的玻璃盖片的形式构造。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的微机械光转向设备，其中，所述微机械光转向装置(2)包括微机械镜(2)，所述微机械镜用于光转向并且能够围绕轴线(5)至少部分地旋转。

7.根据权利要求6所述的微机械光转向设备，其中，所述微机械镜(2)的镜平面(2')为了对光进行转向在静止位置中和所述玻璃盖片(3)的平面(3')彼此相对旋转一角度(20)。

8.根据权利要求7所述的微机械光转向设备，其中，所述角度(20)在1°至35°之间、优选地在2°至20°之间、尤其在5°至15°之间、优选地在7.5°至12.5°之间。

9.根据权利要求3所述的微机械光转向设备，其中，所述透镜(4)构造为柱面透镜(4)或鲍威尔透镜(4)。

10.一种用于借助微机械光转向设备(1)对光进行转向的方法，其中，借助光转向装置(2)对光束(9)进行转向，其中，借助所述光转向装置(2)的透光的覆盖装置(3)对所述光束(9)进行成形，所述透光的覆盖装置具有无源射束成形装置(4)。

11.一种光发送设备，所述光发送设备包括根据权利要求1-9中任一项所述的微机械光转向设备(1)并且包括光发送装置(6)，所述光发送装置尤其是以激光器的形式、优选是点辐射的半导体激光器或“边缘发射器”类型的半导体激光器。