[发明专利]弹性波装置有效
申请号: | 201880039665.X | 申请日: | 2018-05-01 |
公开(公告)号: | CN110771035B | 公开(公告)日: | 2023-08-08 |
发明(设计)人: | 岩本敬 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/145 | 分类号: | H03H9/145;H03H9/25;H03H9/64 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 刘慧群 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 弹性 装置 | ||
1.一种弹性波装置,具有包含第一弹性波元件和第二弹性波元件的多个弹性波元件,在所述第一弹性波元件上层叠了所述第二弹性波元件,所述弹性波装置的特征在于,
所述第一弹性波元件具有:
第一基板,在至少一部分具有压电性;
第一功能电极,设置在所述第一基板的一个主面;以及
第一布线导体,设置在所述第一基板,与所述第一功能电极电连接,
所述第二弹性波元件具有:
第二基板,在至少一部分具有压电性;以及
第二功能电极,设置在所述第二基板的一个主面,
所述第一弹性波元件还具有:
中继电极,设置在所述第一基板的所述一个主面,与所述第二功能电极电连接;以及
接地电极,设置在所述第一基板的所述一个主面,
所述接地电极设置在所述第一功能电极以及所述第一布线导体中的至少一个与所述中继电极之间,且与所述中继电极电绝缘。
2.根据权利要求1所述的弹性波装置,其特征在于,
所述接地电极与所述第一功能电极电连接。
3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置,其特征在于,
所述第一弹性波元件还具有:
第一信号电极,设置在所述第一基板,经由所述第一布线导体与所述第一功能电极电连接,
所述第二弹性波元件还具有:
第二布线导体,设置在所述第二基板,与所述第二功能电极电连接;以及
第二信号电极,设置在所述第二基板,经由所述第二布线导体与所述第二功能电极电连接。
4.根据权利要求1或2所述的弹性波装置,其特征在于,
所述第一弹性波元件具有:
信号端子,设置在所述第一基板的与所述一个主面对置的另一个主面;
接地端子,设置在所述第一基板的所述另一个主面;
第一贯通电极,沿着所述第一弹性波元件和所述第二弹性波元件的层叠的方向贯通所述第一基板,将所述中继电极和所述信号端子电连接;以及
第二贯通电极,沿着所述层叠的方向贯通所述第一基板,将所述接地电极和所述接地端子电连接,
所述第二贯通电极与所述第一贯通电极电绝缘。
5.根据权利要求4所述的弹性波装置,其特征在于,
所述第二贯通电极在所述第一基板内设置在所述第一贯通电极的周围。
6.根据权利要求4所述的弹性波装置,其特征在于,
所述第一弹性波元件还具有:
第三贯通电极,沿着所述层叠的方向贯通所述第一基板,与所述第一布线导体电连接。
7.根据权利要求1或2所述的弹性波装置,其特征在于,
所述第一基板以及第二基板中的至少一个基板具有:
支承基板;以及
压电膜,直接或间接地形成在所述支承基板的一个主面。
8.根据权利要求7所述的弹性波装置,其特征在于,
所述至少一个基板还具有:低声速膜,形成在所述支承基板与所述压电膜之间,
所述低声速膜由以比在所述压电膜传播的弹性波的传播速度低速的传播速度传播弹性波的材料形成,
所述支承基板由以比在所述压电膜传播的弹性波的传播速度高速的传播速度传播弹性波的材料形成。
9.根据权利要求1或2所述的弹性波装置,其特征在于,
所述第一功能电极以及所述第二功能电极中的至少一者为IDT电极。
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