[发明专利]控制压实的方法在审

专利信息
申请号: 201880040183.6 申请日: 2018-06-14
公开(公告)号: CN110785388A 公开(公告)日: 2020-02-11
发明(设计)人: S·R·伯德特;S·P·马达普西;J·N·佩恩 申请(专利权)人: 康宁股份有限公司
主分类号: C03C23/00 分类号: C03C23/00;C03B17/06
代理公司: 31100 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 张璐;项丹
地址: 美国*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 压实度 玻璃带 冷却曲线 冷却 工艺条件 玻璃片 修正 切割 拉制 最小化 测量 重复
【说明书】:

一种控制压实度的方法,包括:获得多个玻璃带的多个工艺条件组,测量从多个玻璃带中的每个玻璃带切割出的玻璃片的压实度值,使压实度与工艺条件相关。所述方法还包括:选择包括多个冷却速率的预定的冷却曲线,通过改变所述多个冷却速率中的各冷却速率来修正冷却曲线,使用修正后的冷却曲线计算从拉制的玻璃带切割出的玻璃片的预计压实度值,以及重复修正和预计的步骤直到压实度最小化。

相关申请的交叉参引

本申请要求2017年6月14日提交的系列号为62/519,347的美国临时申请的优先权权益,本文以该申请的内容为基础并通过引用将其全文纳入本文,如同在下文完整阐述。

背景

技术领域

本公开一般涉及用于减少玻璃基材变形的方法,更具体地,涉及最大程度地减少玻璃基材的压实。

背景技术

液晶显示器(LCD)形式的玻璃显示面板正用于越来越多的应用——从手持电话到电脑显示器到电视机显示器。这些应用要求玻璃片具有原始的无缺陷表面。LCD包含密封在一起以形成封套的玻璃薄片。当进行热循环以使构成LCD的元件之间保持适当的对准或对齐时,包含这些显示器的玻璃片的尺寸不变化是极其理想的。

通常,LCD为无定形硅(α-Si)薄膜晶体管(TFT)或多晶硅(ρ-Si或poly-Si)TFT类型。Poly-Si具有显著更高的驱动电流和电子迁移率,因此减少了像素的响应时间。此外,可使用ρ-Si加工在玻璃基材上直接建立显示驱动电路。相比之下,α-Si需要离散的驱动芯片,这些芯片必须利用集成电路封装技术连接到显示器外围。

然而,ρ-Si TFT的制造要求比α-Si TFT更高的加工温度,因此增加了玻璃在加工期间收缩(压实)的风险。此外,通过增加像素密度来不断提高显示器分辨率也要求相应地改进玻璃的热稳定性,以确保在制造期间,例如在将薄膜晶体管沉积在玻璃基材上期间,显示器部件适当地对齐。

玻璃制造商常在将玻璃基材运送给客户之前对玻璃基材进行热处理,以使得当后续在客户的工艺中进行热循环时,基材不会收缩或收缩得很少。这种热处理被称为“预收缩”或“预压实”。高温加工(例如ρ-Si TFT所需的加工)可能需要玻璃基材的长的热处理时间以确保低压实,例如在600℃下5小时。再者,这种热处理还涉及玻璃基材的搬运,这增加了基材表面损坏的可能性并增加了总的制造成本。

从量上看,压实是玻璃基材在基材平面中展现的每单位长度的长度变化,其是由于热循环产生的玻璃结构的细微变化所致(即,压实是由于玻璃的热经历导致的应变,并且与玻璃的假想温度紧密相关)。在物理学上,压实度可通过下述来确定:在玻璃基材上作标记,并且测量标记之间的初始距离。然后,使基材经受预定的热处理并返回到室温。接着重新测量标记之间的距离。然后通过下式给出以百万分之率(ppm)计的压实度:压实度=106·(热处理前的距离-热处理后的距离)/(热处理前的距离)。

由于压实度是LCD面板制造商关注的问题,因此在过去,随着增加熔融玻璃流量以增加输出,制造工艺线性地放大以在冷却期间有足够的时间来使成品基材保持与流量增加前所存在的压实度相同。虽然这种方法在一定程度上有效,但是其的缺点在于:该方法可能需要成形主体与从玻璃带分离出基材的位置之间的距离增加。这些较长的距离要占据额外的制造空间和资本来实现。实际上,由于现有设施的物理限制,因此增加拉制距离来减少压实可限制给定的玻璃成形设备可用的最大流量。此外,确保合适的压实常需要大量的实验来获得合适的工艺条件。通过选定的工艺条件来预计压实度将会是有益的。

发明内容

根据本公开的一个实施方式,公开了一种控制压实的方法,所述方法包括:

a)测量从以不同冷却速率形成的多个玻璃带中切割出的多个玻璃片的压实度;

b)使步骤a)中的测得压实度与冷却速率相关,以获得对应于多个温度的多个回归系数;

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