[发明专利]表膜和表膜组件

权利要求书

1.一种表膜组件，所述表膜组件包括表膜框架，所述表膜框架限定表膜所附接到的表面；

其中，所述表膜组件包括一个或更多个三维膨胀结构，所述三维膨胀结构允许所述表膜在应力下膨胀。

2.根据权利要求1所述的表膜组件，其中，所述三维膨胀结构中的至少一个被形成在所述表膜框架内并由此被赋予至所述表膜。

3.根据权利要求1或2所述的表膜组件，其中，所述三维膨胀结构中的至少一个构成弹簧。

4.根据权利要求3所述的表膜组件，其中，所述弹簧包括在所述表膜框架内形成的至少一个V形构造。

5.根据前述权利要求中任一项所述的表膜组件，其中，所述至少一个结构包括多个弹簧，所述弹簧形成在所述表膜框架内并定位在所述表膜的中心部分周围。

6.根据权利要求2或引用权利要求2的权利要求中的任一项所述的表膜组件，其中，所述至少一个弹簧是板簧。

7.根据前述权利要求中任一项所述的表膜组件，其中，所述三维膨胀结构中的至少一个存在于所述表膜的中心部分上。

8.根据权利要求7所述的表膜组件，其中，所述框架包括基底，所述表膜组件包括所述基底和所述表膜之间的至少一个弹簧层，其中至少一个弹簧形成在所述弹簧层内。

9.根据前述权利要求中任一项所述的表膜组件，其中，所述三维膨胀结构中的至少一个包括鱼骨形图案。

10.根据权利要求9所述的表膜组件，其中，所述三维膨胀结构中的至少一个包括鱼骨形图案，所述鱼骨形图案横跨所述表膜的总表面的大部分延伸。

11.根据前述权利要求中任一项所述的表膜组件，其中，所述三维膨胀结构中的至少一个导致横跨表膜表面的粗糙度。

12.一种表膜组件，所述表膜组件包括表膜框架，所述表膜框架限定表膜所附接到的表面；

其中所述表面包括用于减少粘合剂扩散的至少一个粘合剂边界。

13.根据权利要求12所述的表膜组件，其中，所述至少一个粘合剂边界包括圆形边界。

14.根据权利要求12或13所述的表膜组件，其中，所述至少一个粘合剂边界包括线边界。

15.根据权利要求14所述的表膜组件，其中，所述线边界邻近所述框架的边缘定位，所述框架的所述边缘邻近所述表膜的中心部分。

16.根据引用权利要求13时的权利要求14或15所述的表膜组件，其中，所述线边界定位在所述圆形边界和所述表膜的中心部分之间。

17.根据权利要求12-16中任一项所述的表膜组件，其中，所述至少一个边界包括在所述框架内的槽。

18.根据权利要求12-17中任一项所述的表膜组件，其中，所述表膜组件包括粘合剂，所述粘合剂基本上与所述圆形边界同心。

19.一种表膜组件，包括：

表膜框架；

表膜；

一个或更多个致动器，用于使得所述表膜组件朝向和远离图案形成装置移动。

20.根据权利要求19所述的表膜组件，其中，所述致动器配置成在闭合配置和敞开配置之间变换所述表膜组件，在所述闭合配置中在所述表膜和图案形成装置之间形成基本上密封的体积；在所述敞开配置中所述表膜和所述图案形成装置之间的体积与周围环境流体连通。