[发明专利]处理玻璃基材表面的方法在审
| 申请号： | 201880040340.3 | 申请日： | 2018-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN110831754A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 小林秀树;水嶋康之;中西久典 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | B32B3/02 | 分类号： | B32B3/02;B32B3/10;C03C15/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 张璐;项丹 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 处理 玻璃 基材 表面 方法 | ||
1.一种用于制造玻璃基材的方法，所述玻璃基材具有在其相对侧上的第一主表面和第二主表面，所述方法包括：
将玻璃基材放置在传送装置上并且使第一主表面面向上；以及
在传送玻璃基材的同时，
(i)使第二主表面与含氢氟酸(HF)气体的工艺气体接触，所述氢氟酸气体由常压等离子体产生，和
(ii)使第二主表面与含HF的水溶液接触，其中(i)和(ii)以非特定的顺序依次进行，并且得到表面粗糙度(Ra)不小于0.5nm且不超过1.5nm的第二主表面。
2.如权利要求1所述的方法，所述方法还包括：
用去离子水洗涤第二主表面，清洗第二主表面和干燥第二主表面。
3.如权利要求1或2所述的方法，其中，传送速度不小于5米/分钟且不超过20米/分钟。
4.如权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，玻璃基材通过熔合拉制法产生。
5.如权利要求1至4中任一项所述的方法，其中，玻璃基材包含无碱金属玻璃。
6.如权利要求1至5中任一项所述的方法，其中，在第一步之前，先将玻璃基材加热到不低于25℃且不超过70℃的温度。
7.如权利要求1至6中任一项所述的方法，其中，含HF气体的工艺气体含有作为载气的氮气和氩气中的至少一种。
8.如权利要求1至7中任一项所述的方法，其中，用去离子水洗涤第二主表面包括：同时洗涤第一主表面，其中，实施第一步和第二步得到表面粗糙度不小于0.2nm且不超过0.3nm的第一主表面。
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