[发明专利]流体装置

说明书

在液体流动的流路(11)中设置阀座(110)和阀体(25)，阀体(25)按压到阀座(110)而闭阀，当阀座(110)与阀体(25)之间产生了间隙时进行开阀的流体装置即电磁阀(1)，作为用于测量流路(11)中的阀座(110)和阀体(25)的上游侧的液体与下游侧的液体的电导通程度的电极，具备与上游侧的液体电导通的第一电极(141)、以及与下游侧的液体电导通的第二电极(142)，能够使用第一和第二电极(141、142)容易地实施漏液的检测。

技术领域

本发明涉及一种具备供液体流动的流路的流体装置。

背景技术

以往，已知具有液体流路的各种流体装置。作为这样的流体装置，例如有，阀门、三通阀、四通阀等切换阀；将流体在流路中加压输送或对流体进行吸引的泵；设置了多个流路的分流器等。在对例如药液、样本液体等进行处理的各种分析装置、检验装置等中，需要高精度地管理液体的流量，因而采用了精密的阀门来作为流体装置(例如参照专利文献1)。

作为该阀门，例如有具备通过电磁力而被进退驱动的阀体、以及该阀体所按压到的阀座的阀门。在该阀门等中，阀体被按压到阀座而流路断开，另一方面，阀体从阀座后退时两者间产生间隙而流路接通。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016-75300号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，在所述阀门等现有的流体装置中，存在如下的问题。即，根据要处理的液体的不同，有时具有容易析出结晶的性状，需要定期的维护，另一方面，若维护不足，则可能发生漏液、堵塞等故障。

本发明是鉴于上述现有的问题点而做出的，其想要提供一种具备检查液体流动的状态是否适当的功能的流体装置。

用于解决课题的手段

本发明是一种具备供液体流动的流路的流体装置，作为用于测量流入的上游侧的流路中的液体与流出的下游侧的流路中的液体间的电导通程度的电极，所述流体装置设置了与所述上游侧的液体电相接的第一电极、以及与所述下游侧的液体电相接的第二电极。

发明效果

本发明的流体装置具备与所述上游侧的液体电导通的第一电极以及与所述下游侧的液体电导通的第二电极。该第一电极和该第二电极的组合能够利用于上游侧的液体与下游侧的液体的电导通程度的测量。

在本发明的流体装置中，通过利用所述第一及所述第二电极，能够比较容易地测量所述上游侧的液体与所述下游侧的液体的电导通程度。该电导通程度对应于在流体装置的流路中流动的液体的有无、流量。因此，若测量该电导通程度，则能够进行漏液、液体的流量等的检查。

这样的本发明的流体装置适合于所述上游侧的液体与所述下游侧的液体的电导通程度的测量，漏液、堵塞等的检查是容易的。

附图说明

图1是表示实施例1中的电磁阀的截面构造的截面图。

图2是表示实施例1中的流路部的截面构造的立体图。

图3是实施例1中的在电磁阀组入的控制单元的框图。

图4是表示实施例1中的开阀状态的说明图。

图5是表示实施例1中的另一流路部的截面构造的立体图。

图6是表示实施例1中的具备滑块的电磁阀的截面构造的截面图(闭合状态)

图7是表示实施例1中的具备滑块的电磁阀的截面构造的截面图(打开状态)。

图8是表示实施例1中的具备滑阀的电磁阀的截面构造的截面图(闭合状态)。