[发明专利]可索引侧储存仓设备、加热的侧储存仓设备、系统和方法

权利要求书

1.一种设备前端模块的侧储存仓，所述侧储存仓包括：

外壳，所述外壳具有密封表面，所述密封表面经配置以耦接到所述设备前端模块；

侧储存仓腔室，所述侧储存仓腔室具有主体，所述主体具有多个垂直间隔的储存构件，每一个储存构件经配置以支撑相应基板；和

索引器，所述索引器可操作以垂直地移动所述侧储存仓腔室，以通过所述设备前端模块中的装载-卸除机器人提供对所述多个垂直间隔的储存构件的不同子群组的存取，其中装载锁定设备要设置在所述设备前端模块和传送腔室之间，其中加热的非反应性气体要通过所述侧储存仓在存储在所述侧储存仓中的所述相应基板上流动，以使所述相应基板脱气并去除位于所述相应基板上的挥发性的副产物，并且其中所述加热的非反应性气体由耦接至所述侧储存仓腔室的输入端口的加热器加热。

2.如权利要求1所述的侧储存仓，其中所述侧储存仓腔室包括可移除的门，所述可移除的门允许响应于所述可移除的门被移除，所述设备前端模块的所述装载-卸除机器人存取所述多个垂直间隔的储存构件。

3.如权利要求1所述的侧储存仓，其中所述侧储存仓腔室包括净化气体供应入口和排气出口。

4.如权利要求3所述的侧储存仓，其中所述侧储存仓腔室包括气体分配系统，所述气体分配系统允许供应到所述净化气体供应入口的所述加热的非反应性气体在离开所述排气出口之前行进通过所述垂直间隔的储存构件。

5.如权利要求1所述的侧储存仓，其中所述侧储存仓腔室包括至少50个基板储存构件。

6.如权利要求1所述的侧储存仓，其中所述多个垂直间隔的储存构件的不同子群组的每个包括至少25个基板储存构件，并且所述索引器可操作以垂直地移动所述侧储存仓腔室，使得通过所述设备前端模块中的所述装载-卸除机器人可存取储存构件的不同子群组。

7.如权利要求1所述的侧储存仓，其中所述外壳包括进出门，所述进出门允许所述侧储存仓腔室被移除，并由另一侧储存仓腔室替换。

8.一种电子装置处理系统，包括：

设备前端模块，所述设备前端模块包括设备前端模块腔室；

一或多个装载端口，所述一或多个装载端口耦接到所述设备前端模块的前部，其中所述一或多个装载端口的每个经配置以支撑相应基板载体；

装载锁定设备，设置在所述设备前端模块和传送腔室之间，其中所述传送腔室耦接到一或多个处理腔室；和

可索引侧储存仓，所述可索引侧储存仓耦接至所述设备前端模块的一侧，所述可索引侧储存仓包括：

外壳，所述外壳具有密封表面，所述密封表面经配置以耦接到所述设备前端模块；

侧储存仓腔室，所述侧储存仓腔室具有主体，所述主体具有多个垂直间隔的储存构件，每一个储存构件经配置以支撑相应基板；和

索引器，所述索引器可操作以垂直地移动所述侧储存仓腔室，以通过所述设备前端模块中的装载-卸除机器人提供对所述多个垂直间隔的储存构件的不同子群组的存取，其中加热的非反应性气体要通过所述可索引侧储存仓在储存在所述可索引侧储存仓中的所述相应基板上流动，以使所述相应基板脱气并去除位于所述相应基板上的挥发性的副产物，并且其中所述加热的非反应性气体由耦接至所述侧储存仓腔室的输入端口的加热器加热。

9.如权利要求8所述的电子装置处理系统，包括：

环境控制系统，所述环境控制系统耦接至所述设备前端模块腔室。

10.如权利要求9所述的电子装置处理系统，其中所述可索引侧储存仓的所述外壳向所述设备前端模块腔室开放，且所述环境控制系统控制所述可索引侧储存仓的所述外壳和所述设备前端模块腔室两者中的共同环境。