[发明专利]确定边缘粗糙度参数

权利要求书

1.一种量测设备，包括：

-测量位置，用于接收衬底；

-辐射系统，用于在所述测量位置处提供辐射斑；和

-传感器，用于当量测目标被辐射斑照射时测量在所述测量位置处被所述量测目标衍射的禁用衍射阶的强度，所述量测目标包括重复图案，所述重复图案被配置成控制导致衍射阶的禁用的相消干涉的量，所述传感器被配置为基于所测量的强度来提供测量信号，

-控制器，能够操作以：

-接收所述测量信号；和

-基于所述禁用衍射阶的所测量的强度确定边缘粗糙度参数。

2.根据权利要求1所述的量测设备，其中，所述重复图案被配置为通过线宽/节距比率的配置来控制相消干涉的量。

3.根据权利要求1或2所述的量测设备，其中，所述边缘粗糙度参数包括局部临界尺寸均匀性。

4.根据权利要求1所述的量测设备，其中，所述禁用衍射阶是第二阶，所述重复图案被配置为具有约0.5的线宽/节距比率。

5.根据权利要求1所述的量测设备，其中，所述控制器能够操作以：

-接收或确定所述重复图案的临界尺寸值；

-使用所述临界尺寸值来确定所述禁用衍射阶的最小强度值；和

-基于所确定的最小强度值来确定所述边缘粗糙度参数。

6.根据权利要求5所述的量测设备，其中，所述控制器能够操作以通过选择用于所述强度测量的重复图案来确定所述禁用衍射阶的所述最小强度值，所述选择基于所述临界尺寸值。

7.根据权利要求5所述的量测设备，其中，所述控制器能够操作以：

使用作为所述临界尺寸值的函数的所述禁用衍射阶的强度模型来确定所述禁用衍射阶的所述最小强度值。

8.根据权利要求1所述的量测设备，其中，所述控制器能够操作以：

-接收基于从多个重复图案测量的强度的一个或更多个测量信号，所述多个重复图案分别被配置为控制导致所述衍射阶的禁用的相消干涉的量；

-基于从所述多个重复图案中测量的所述禁用衍射阶的强度来确定所述禁用衍射阶的最小强度值；和

-基于所确定的最小强度值来确定所述边缘粗糙度参数。

9.根据权利要求8所述的量测设备，其中，所述控制器能够操作以：

通过选择针对多个重复图案所测量的强度中的最小强度来确定所述禁用衍射阶的所述最小强度值。

10.根据权利要求8所述的量测设备，其中，所述控制器能够操作以：

-通过将针对多个重复图案所测量的强度拟合到具有极值的函数来确定所述禁用衍射阶的所述最小强度值。

11.根据权利要求10所述的量测设备，其中，所述函数包括抛物线函数。

12.根据权利要求5-11中任一项所述的量测设备，其中，所述控制器能够操作以基于所确定的最小强度值与零之间的偏差来确定所述边缘粗糙度参数。

13.根据权利要求5-11中任一项所述的量测设备，其中，所述禁用衍射阶是偶数衍射阶。

14.根据权利要求13所述的量测设备，其中，所述偶数衍射阶是第二阶。

15.根据权利要求8所述的量测设备，其中，所述禁用衍射阶是第二衍射阶，所述多个重复图案包括约0.5的线宽/节距比率。