[发明专利]金属氟氧化物的处理方法及清洁方法

说明书

本发明的金属氟氧化物的处理方法的特征在于使通式MO_(6‑x)/2F_x(0＜x＜6、M＝W或Mo)所示的金属氟氧化物于0℃以上且不足400℃的温度下与含氟气体接触，通过化学反应转换为通式MF₆(M＝W或Mo)所示的六氟化金属。于本处理方法中，能够不使用等离子体产生装置而将金属氟氧化物转换为高蒸气压的物质，能够用于氟化金属制造装置的清洁或成膜装置的清洁。

技术领域

本发明涉及使金属氟氧化物MO_(6-x)/2F_x(0＜x＜6、M＝W或Mo)与含氟气体进行化学反应而转换为MF₆的处理方法及使用该处理方法去除金属氟氧化物(metal oxyfluorides)的沉积物等的清洁方法。

背景技术

作为化学气相沉积钨(W)及钨化合物、钼(Mo)或钼化合物时的前体，已知有六氟化钨或六氟化钼。作为这些前体的工业制造方法，已知有如反应式(1-1)～(1-2)、反应式(2-1)～(2-2)所示，使金属钨与氟或三氟化氮、使金属钼与氟或三氟化氮接触的方法。

W(s)+3F₂(g)→WF₆(g) 反应式(1-1)

W(s)+2NF₃(g)→WF₆(g)+N₂(g) 反应式(1-2)

Mo(s)+3F₂(g)→MoF₆(g) 反应式(2-1)

Mo(s)+2NF₃(g)→MoF₆(g)+N₂(g) 反应式(2-2)

六氟化钨与六氟化钼在工业制造方法中使用了金属钨或金属钼，但在金属钨或金属钼中包含氧化物、及表面氧化物作为杂质，原料的氟或三氟化氮与这些氧化物反应，生成WOF₄或MoOF₄等金属氟氧化物MO_(6-x)/2F_x(0＜x＜6、M＝W或Mo)作为杂质。

WO₃(s)+2F₂(g)→WOF₄+O₂(g) 反应式(3-1)

WO₃(s)+4/3NF₃(g)→WOF₄+O₂(g)+2/3N₂(g) 反应式(3-2)

MoO₃(s)+2F₂(g)→MoOF₄+O₂(g) 反应式(4-1)

MoO₃(s)+4/3NF₃(g)→MoOF₄+O₂(g)+2/3N₂(g) 反应式(4-2)

金属氟氧化物也会因作为产物的六氟化钨或六氟化钼与金属氧化物接触而生成。

WO₃(s)+2WF₆(g)→3WOF₄ 反应式(3-3)

MoO₃(s)+2MoF₆(g)→3MoOF₄ 反应式(4-3)

进而，金属氟氧化物也会因作为产物的六氟化钨或六氟化钼与水(H₂O)进行接触而生成。

H₂O+WF₆(g)→WOF₄+2HF 反应式(3-4)