[发明专利]真空阀、计算机可读介质和用于控制真空阀的方法

权利要求书

1.一种真空阀(1,1',1'',1''')，用于调整体积流或质量流和/或气密中断流路，所述真空阀具有：

•阀座，该阀座具有限定出开口轴线(H)的阀开口(2)和围绕所述阀开口(2)的第一密封面(3)，

•阀关闭件(4)，用于调整所述体积流或所述质量流和/或用于中断所述流路,所述阀关闭件具有对应于所述第一密封面(3)的第二密封面(6)，

•与所述阀关闭件(4)相连的驱动单元(7)，所述驱动单元被设计成，使得所述阀关闭件(4)从

°所述阀关闭件(4)和所述阀座以相对于彼此不接触的方式存在的开启位置(O)调节到

°通过位于其间的密封装置(23)而在所述第一密封面(3)和所述第二密封面(6)之间存在密封接触并由此气密关闭所述阀开口(2)的关闭位置(G)，并且能回调，

其特征是，所述真空阀(1,1',1'',1''')具有至少一个温度传感器(10,10',10'',10''')，其中所述温度传感器(10,10',10'',10''')被设计和布置成，借助所述温度传感器(10,10',10'',10''')能获得代表与所述真空阀(1,1',1'',1''')的至少一部分相关的热信息的测量信号，其中，在所述真空阀(1,1',1'',1''')的处理和控制单元的控制下，所述驱动单元(7)能以用于在所述开启位置(O)和所述关闭位置(G)之间调节所述阀关闭件的控制值来控制，并且所述处理和控制单元被设计成，使得所述控制值根据当前获得的测量信号被自动调设。

2.根据权利要求1所述的真空阀(1,1',1'',1''')，其特征是，所述温度传感器(10,10',10'',10''')安置在所述驱动单元(7)上。

3.根据权利要求1或2所述的真空阀(1,1',1'',1''')，其特征是，所述驱动单元(7)被设计成气压驱动装置，并且所述温度传感器(10,10',10'',10''')安置在所述驱动单元的气动缸上。

4.根据权利要求1所述的真空阀(1,1',1'',1''')，其特征是，所述温度传感器(10,10',10'',10''')安置在所述阀关闭件(4)或所述阀座上。

5.根据权利要求1所述的真空阀(1,1',1'',1''')，其特征是，所述真空阀(1,1',1'',1''')具有阀壳体(24)，所述温度传感器(10,10',10'',10''')安置在所述阀壳体(24)上。

6.根据权利要求1所述的真空阀(1,1',1'',1''')，其特征是，所述温度传感器(10,10',10'',10''')被设计成下述温度传感器之一：

•热导体，

•冷导体，

•半导体温度传感器，

•光学温度传感器，

•热电偶。

7.根据权利要求1所述的真空阀(1,1',1'',1''')，其特征是，所述热信息由温度代表。

8.根据权利要求1所述的真空阀(1,1',1'',1''')，其特征是，所述测量信号能够被连续获得。

9.根据权利要求1所述的真空阀(1,1',1'',1''')，其特征是，所述真空阀(1,1',1'',1''')具有如此设计的处理和控制单元，即所获的测量信号能借助所述处理和控制单元来处理，并且依据所获得的测量信号产生状态信息。

10.根据权利要求9所述的真空阀(1,1',1'',1''')，其特征是，提供与所述驱动单元(7)、所述阀座和/或所述阀关闭件(4)的机械完整性和/或结构完整性相关的所述状态信息。