[发明专利]真空阀

权利要求书

1.一种真空阀(1,1',1'',1''')，用于调整体积流或质量流和/或用于气密中断流路，该真空阀具有：

•阀座，该阀座具有限定出开口轴线(5)的阀开口(2)和包围所述阀开口(2)的第一密封面(3)，

•阀关闭件(4)，用于调整所述体积流或所述质量流和/或用于中断所述流路，所述阀关闭件具有对应于所述第一密封面(3)的第二密封面(6)，

•连接至所述阀关闭件(4)的驱动单元(7)，所述驱动单元被设计成，使得所述阀关闭件(4)

°能按规定改变和调节以提供相应的阀开启状态，并且

°能从开启位置(O)移动到关闭位置(G)并且回移，所述阀关闭件(4)在所述开启位置中至少部分放开所述阀开口(2)，所述第二密封面(6)在所述关闭位置中被压向所述第一密封面(3)且气密关闭所述阀开口(2)，

其特征是，所述真空阀(1,1',1'',1''')具有至少一个声学传感器(10,10',10'',10''')，其中所述声学传感器(10,10',10'',10''')被设计和布置成，借助所述声学传感器(10,10',10'',10''')能作为测量信号产生关于在所述真空阀(1,1',1'',1''')的至少一个部件内出现的结构声波，并且

所述真空阀(1,1',1'',1''')具有处理和控制单元，该处理和控制单元至少被设计用于处理所述测量信号，并且被设计用于，以用于在所述开启位置(O)和所述关闭位置(G)之间调节所述阀关闭件(4)的控制值来控制所述驱动单元(7)，以及用于根据当前所获得的测量信号自动调整所述控制值。

2.根据权利要求1所述的真空阀(1,1',1'',1''')，其特征是，所述声学传感器(10,10',10'',10''')布置在所述驱动单元(7)上。

3.根据权利要求1或2所述的真空阀(1,1',1'',1''')，其特征是，所述声学传感器(10,10',10'',10''')布置在所述阀关闭件(4)或所述阀座上。

4.根据权利要求1所述的真空阀(1,1',1'',1''')，其特征是，所述真空阀(1,1',1'',1''')具有阀壳体(24)，所述声学传感器(10,10',10'',10''')布置在所述阀壳体(24)上。

5.根据权利要求4所述的真空阀(1,1',1'',1''')，其特征是，所述处理和控制单元被设立成，使得所获得的测量信号能借助所述处理和控制单元被处理，并且依据所获得的所述测量信号能产生用于所述真空阀(1,1',1'',1''')的所述至少一个部件的状态信息。

6.根据权利要求5所述的真空阀(1,1',1'',1''')，其特征是，借助位于所述第二密封面(6)和所述第一密封面(3)之间的密封装置(23)气密关闭所述阀开口(2)，并且提供与所述驱动单元(7)、所述第一密封面或所述第二密封面、所述密封装置(23)和/或所述阀壳体(24)的机械完整性和/或结构完整性相关的状态信息。

7.根据权利要求1所述的真空阀(1,1',1'',1''')，其特征是，所述处理和控制单元设计用于基于在规定期间内的所述测量信号的获知来提供频谱。

8.根据权利要求1所述的真空阀(1,1',1'',1''')，其特征是，所述处理和控制单元被设计用于基于与一个或多个测量频率相关的测量信号的分析来提供关于造成相应测量值频率的结构声波的定位的输出信号。

9.根据权利要求1所述的真空阀(1,1',1'',1''')，其特征是，所述处理和控制单元具有如此设立的监测功能，在其执行时，

•所述测量信号在所述阀开启状态发生变化期间被获得，

•基于所获得的所述测量信号和与之相关的理论测量信号的比较推导出用于所述真空阀(1,1',1'',1''')的至少一个部件的当前功能状态。