[发明专利]光学装置有效
申请号: | 201880043575.8 | 申请日: | 2018-07-06 |
公开(公告)号: | CN110832379B | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
发明(设计)人: | 杉本达哉;铃木智史;港谷恭辅 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G02B26/00 | 分类号: | G02B26/00;B81B3/00;G01J3/45 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 装置 | ||
1.一种光学装置,其特征在于,
具备:
基座,其具有主面;
可动部,其具有光学功能部;以及
第1弹性支撑部及第2弹性支撑部,其连接于所述基座与所述可动部之间,且以所述可动部能够沿着与所述主面垂直的规定方向移动的方式支撑所述可动部,
所述可动部具有:主体部;框部,其在自所述规定方向观察的情况下自所述主体部空开规定的间隔而包围所述主体部;及多个连结部,其将所述主体部与所述框部相互连结,
所述第1弹性支撑部具有连接于所述框部的一对第1扭转支撑部,
所述第2弹性支撑部具有连接于所述框部的一对第2扭转支撑部,
所述主体部包含设置有所述光学功能部的中央部、及外缘部,
所述外缘部包含以所述规定方向上的所述外缘部的厚度厚于所述规定方向上的所述中央部的厚度的方式形成的第1梁部,
所述框部包含以所述规定方向上的所述框部的厚度厚于所述规定方向上的所述中央部的厚度的方式形成的第2梁部,
所述多个连结部各自的宽度是沿着所述框部的延伸方向的所述多个连结部各自的长度,大于所述间隔,且小于自所述框部中的与所述多个连结部各者的连接位置至与所述一对第1扭转支撑部各者及所述一对第2扭转支撑部各者的连接位置的任一者的距离。
2.如权利要求1所述的光学装置,其特征在于,
所述框部中,与所述多个连结部各者的连接位置位于与所述一对第1扭转支撑部各者的连接位置、和与所述一对第2扭转支撑部各者的连接位置之间。
3.如权利要求1所述的光学装置,其特征在于,
所述框部中,与所述多个连结部各者的连接位置位于与所述一对第1扭转支撑部各者的连接位置之间、或者与所述一对第2扭转支撑部各者的连接位置之间。
4.如权利要求1~3中任一项所述的光学装置,其特征在于,
所述多个连结部在自所述规定方向观察的情况下,关于所述主体部的中心相互点对称地配置。
5.如权利要求1~3中任一项所述的光学装置,其特征在于,
所述多个连结部各自的宽度小于自所述框部中的与所述多个连结部各者的连接位置至与所述一对第1扭转支撑部各者及所述一对第2扭转支撑部各者的连接位置的任一者的距离的1/3倍。
6.如权利要求4所述的光学装置,其特征在于,
所述多个连结部各自的宽度小于自所述框部中的与所述多个连结部各者的连接位置至与所述一对第1扭转支撑部各者及所述一对第2扭转支撑部各者的连接位置的任一者的距离的1/3倍。
7.如权利要求1~3中任一项所述的光学装置,其特征在于,
所述多个连结部各自的宽度小于自所述规定方向观察的情况下的自所述第1梁部的内缘至所述框部的外缘的距离。
8.如权利要求4所述的光学装置,其特征在于,
所述多个连结部各自的宽度小于自所述规定方向观察的情况下的自所述第1梁部的内缘至所述框部的外缘的距离。
9.如权利要求5所述的光学装置,其特征在于,
所述多个连结部各自的宽度小于自所述规定方向观察的情况下的自所述第1梁部的内缘至所述框部的外缘的距离。
10.如权利要求6所述的光学装置,其特征在于,
所述多个连结部各自的宽度小于自所述规定方向观察的情况下的自所述第1梁部的内缘至所述框部的外缘的距离。
11.如权利要求1~3中任一项所述的光学装置,其特征在于,
所述主体部及所述光学功能部在自所述规定方向观察的情况下呈圆形状,
在自所述规定方向观察的情况下,所述多个连结部分别以与通过该连结部的中心及所述主体部的中心的直线垂直且不和与所述光学功能部的外缘相接的直线交叉的方式设置。
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