[发明专利]在至少两个波长范围之间进行辨别的高分辨率扫描显微术

权利要求书

1.一种用于样品(2)的高分辨率扫描显微术的方法，其中：

-所述样品(2)由照明辐射(5)激发以发射荧光辐射，使得将所述照明辐射聚焦在所述样品(2)中或所述样品(2)上的点处，以形成衍射受限的照明光斑(14)，

-以衍射受限的方式将所述点成像至位于像平面中且位于空间分辨表面检测器(19)上的衍射图像(23)，其中所述空间分辨表面检测器(19)具有对所述衍射图像(23)的衍射结构(30-37)进行分辨的空间分辨率，并且所述像平面与所述衍射受限的照明光斑位于其中的焦平面共轭，

-相对于所述样品(2)，以小于所述照明光斑(14)的一半直径的增量将所述点移位到不同扫描位置中，

-读取所述空间分辨表面检测器(19)，并且从所述空间分辨表面检测器(19)的数据以及从向所述数据分配的扫描位置生成所述样品(2)的图像，所述图像的分辨率增加以超过成像的分辨率极限，

-出于通过在至少两个预先确定的波长范围之间进行区分的目的，利用光谱选择模块(15)在所述空间分辨表面检测器(19)上生成具有多个不同衍射结构(30-37)的衍射图像(23)，所述衍射结构的数目对应于波长范围的数目，所述衍射结构相对于对称中心各自是点对称的且全部位于所述空间分辨表面检测器(19)上，

-当生成所述样品(2)的图像时评估所述衍射结构(30-37)，

其特征在于，

-所述点对称的衍射结构(30-37)具有共同的对称中心(40)且覆盖在该共同的对称中心之外、彼此不重叠的、所述像平面(18)中的有区别的区域。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少两个预先确定的波长范围经受不同的相位操纵。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述光谱选择模块(15)包括相位影响装置(17，17a，17b)。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，只有在一个波长处的辐射受相位影响装置(17，17a，17b)影响，而在另一个波长处的辐射不会受相位影响装置影响，所以该辐射的衍射结构(30)为艾里斑。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述衍射结构(30-37)是共轴的。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述衍射结构(34-37)具有相同的基本结构，但是在所述空间分辨表面检测器(19)上相对于彼此旋转一角度。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光谱选择模块(15)仅影响照明，其中所述照明光斑(14)由照明衍射结构(38，39)构成，所述照明衍射结构(38，39)有区别但是具有共同的对称中心(40)。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光谱选择模块(15)仅影响所述成像。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述光谱选择模块(15)设置在所述空间分辨表面检测器(19)的上游。