[发明专利]光学装置

说明书

光学装置具备：基座，其具有主面；可动部，其具有光学功能部；弹性支撑部，其以可动部能够沿着与主面垂直的规定方向移动的方式支撑可动部；固定梳齿电极，其具有多个固定梳齿；及可动梳齿电极，其具有与多个固定梳齿相互交替地配置的多个可动梳齿。可动部及弹性支撑部的至少一者具有支撑可动梳齿电极的电极支撑部。电极支撑部具有以规定方向上的电极支撑部的厚度厚于规定方向上的可动梳齿的厚度的方式形成的梁部。

技术领域

本发明涉及一种例如作为MEMS(Micro Electro Mechanical Systems(微机电系统))装置而构成的光学装置。

背景技术

作为MEMS装置，已知有一种光学装置，其具备：基座；可动部，其具有光学功能部；及弹性支撑部，其连接于基座与可动部之间，且以可动部能够沿着移动方向移动的方式支撑可动部(例如参照专利文献1)。在此种光学装置中，存在如下情况：具备：可动梳齿电极，其具有多个可动梳齿；及固定梳齿电极，其具有与多个可动梳齿相互交替地配置的多个固定梳齿。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利申请公开2008/0284078号说明书

发明内容

发明所要解决的问题

如上所述的可动梳齿电极及固定梳齿电极用作驱动用的电极、监视用的电极、或驱动兼监视用的电极。在使用可动梳齿电极及固定梳齿电极作为驱动用的电极的情况下，为了使可动部沿着移动方向移动，而对可动梳齿电极与固定梳齿电极之间施加电压。在使用可动梳齿电极及固定梳齿电极作为监视用的电极的情况下，为了掌握沿着移动方向移动的可动部的位置，而检测可动梳齿电极与固定梳齿电极之间的静电容量。

在为了任一用途而使用可动梳齿电极及固定梳齿电极的情况下，也在可动部沿着移动方向移动时，优选为可动梳齿电极与可动部一体地移动，且相互相邻的可动梳齿与固定梳齿之间的间隔维持为固定。然而，若仅设置可动梳齿电极及固定梳齿电极，则有可动部沿着移动方向移动时可动梳齿电极应变，作为装置的可靠性降低的担忧。

本发明的一方面的目的在于提供一种可靠性较高的光学装置。

解决问题的技术手段

本发明的一方面的光学装置具备：基座，其具有主面；可动部，其具有光学功能部；弹性支撑部，其连接于基座与可动部之间，且以可动部能够沿着与主面垂直的规定方向移动的方式支撑可动部；固定梳齿电极，其设置于基座，且具有多个固定梳齿；及可动梳齿电极，其设置于可动部及弹性支撑部的至少一者，且具有与多个固定梳齿相互交替地配置的多个可动梳齿；可动部及弹性支撑部的至少一者具有支撑可动梳齿电极的电极支撑部，电极支撑部具有以规定方向上的电极支撑部的厚度厚于规定方向上的可动梳齿的厚度的方式形成的梁部。

在该光学装置中，通过形成梁部，而规定方向上的电极支撑部的厚度较规定方向上的可动梳齿的厚度厚，通过该电极支撑部而支撑可动梳齿电极。由此，可抑制在可动部沿着规定方向移动时，支撑可动梳齿电极的电极支撑部应变。因此，可使可动梳齿电极与可动部一体地移动，可抑制相互相邻的可动梳齿与固定梳齿之间的间隔变动。其结果，可提高可靠性。

在本发明的一方面的光学装置中，也可为弹性支撑部具有杆，电极支撑部自杆延伸。在该情况下，可通过自杆延伸的电极支撑部而抑制可动梳齿电极的应变。

在本发明的一方面的光学装置中，也可为可动梳齿电极在杆的延伸方向上相对于杆的中心位于与可动部相反侧。在该情况下，即使可动部沿着规定方向大幅度移动，可动梳齿也不易自相互相邻的固定梳齿间的区域偏移。因此，在将固定梳齿电极及可动梳齿电极用作驱动用的电极的情况下，可遍及可动部的可动范围的整体，使固定梳齿电极与可动梳齿电极之间产生静电力。另外，在将固定梳齿电极及可动梳齿电极用作监视用的电极的情况下，可遍及可动部的可动范围的整体，检测固定梳齿电极与可动梳齿电极之间的静电容量的变化。