[发明专利]氮化铝烧结体及其制造方法

权利要求书

1.一种氮化铝烧结体，包含氮化铝晶粒和复合氧化物晶粒，所述复合氧化物晶粒包含稀土元素和铝元素，所述氮化铝烧结体的特征在于，

所述氮化铝晶粒的中位径为2μm以下，

所述氮化铝烧结体中，最长径为0.2～1μm的粒子间空隙在截面100μm见方的区域中分散有10～200个，

并且碳原子含量小于0.10质量％。

2.根据权利要求1所述的氮化铝烧结体，其特征在于，

所述复合氧化物晶粒的中位径小于所述氮化铝晶粒的中位径。

3.根据权利要求1或2所述的氮化铝烧结体，其特征在于，

所述复合氧化物晶粒的中位径为1.5μm以下。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的氮化铝烧结体，其特征在于，

所述稀土元素是选自钇和镧系稀土元素中的一种或两种以上的元素。

5.一种氮化铝烧结体的制造方法，是制造权利要求1～4中任一项所述的氮化铝烧结体的方法，其特征在于，包括一次混合工序、二次混合工序、成形工序、脱脂工序和烧结工序，

所述一次混合工序中，将包含氮化铝粉末和烧结助剂的原料粉末与有机溶剂进行混合而得到原料浆料，

所述二次混合工序中，对将所述原料浆料与粘合剂溶液混合得到的混合液进行过滤而得到混合浆料，

所述成形工序中，对所述混合浆料进行成形而得到氮化铝成形体，

所述脱脂工序中，在氧化性气体气氛下将所述氮化铝成形体加热到小于600℃而得到氮化铝脱脂体，

所述烧结工序中，对所述氮化铝脱脂体进行烧结而得到氮化铝烧结体。

6.根据权利要求5所述的氮化铝烧结体的制造方法，其特征在于，

所述烧结助剂包含具有选自钇和镧系稀土元素中的一种或两种以上元素的化合物。

7.根据权利要求6所述的氮化铝烧结体的制造方法，其特征在于，

所述烧结助剂还包含具有铝元素的化合物。

8.根据权利要求5～7中任一项所述的氮化铝烧结体的制造方法，其特征在于，

在所述二次混合工序前还包括粘合剂溶液调制工序，所述粘合剂溶液调制工序中，对在有机溶剂中溶解粘合剂成分而得到的溶液进行过滤而得到所述粘合剂溶液。

9.根据权利要求5～8中任一项所述的氮化铝烧结体的制造方法，其特征在于，

所述脱脂工序中使用的所述氧化性气体是包含氧气的混合气体。

10.根据权利要求5～9中任一项所述的氮化铝烧结体的制造方法，其特征在于，

所述氮化铝脱脂体的碳原子含量为0.10质量％以下。

11.根据权利要求5～10中任一项所述的氮化铝烧结体的制造方法，其特征在于，

所述烧结工序在1400℃以上且1800℃以下的惰性气体气氛下进行24小时以下的加热。

12.根据权利要求11所述的氮化铝烧结体的制造方法，其特征在于，

所述烧结工序中使用的所述惰性气体是氮气。