[发明专利]压电薄膜元件

权利要求书

1.一种压电薄膜元件，其中，

具备：第一电极层、和

直接层叠于所述第一电极层的压电薄膜，

所述第一电极层包含由两种金属元素构成的合金，

所述第一电极层具有面心立方晶格结构，

所述压电薄膜具有纤锌矿型结构，

所述合金由下述化学式3A、化学式3B、化学式3C及化学式3D中的任一者表示，

所述压电薄膜包含氮化铝，

化学式3A：Pd_(1-x)Ni_x，

所述化学式3A中，0.03＜x＜0.46；

化学式3B：Pd_(1-x)Ir_x，

所述化学式3B中，0.20＜x＜1.0；

化学式3C：Ir_(1-x)Ni_x，

所述化学式3C中，0≤x≤0.35；

化学式3D：Pt_(1-x)Ni_x，

所述化学式3D中，0.11＜x＜0.50。

2.一种压电薄膜元件，其中，

具备：第一电极层、和

直接层叠于所述第一电极层的压电薄膜，

所述第一电极层包含由两种金属元素构成的合金，

所述第一电极层具有面心立方晶格结构，

所述压电薄膜具有纤锌矿型结构，

所述合金由下述化学式4A、化学式4B、化学式4C、化学式4D、化学式4E及化学式4F中的任一者表示，

所述压电薄膜包含氧化锌，

化学式4A：Ag_(1-y)Pd_y，

所述化学式4A中，0.26＜y＜1.0；

化学式4B：Ag_(1-y)Ni_y，

所述化学式4B中，0.09＜y＜0.37；

化学式4C：Au_(1-y)Pd_y，

所述化学式4C中，0.10＜y＜0.97；

化学式4D：Au_(1-y)Ni_y，

所述化学式4D中，0.04＜y＜0.33；

化学式4E：Pt_(1-y)Pd_y，

所述化学式4E中，0＜y＜0.80；

化学式4F：Pt_(1-y)Ni_y，

所述化学式4F中，0＜y＜0.07。

3.一种压电薄膜元件，其中，

具备：第一电极层、和

直接层叠于所述第一电极层的压电薄膜，

所述第一电极层包含由三种金属元素构成的合金，

所述第一电极层具有面心立方晶格结构，

所述压电薄膜具有纤锌矿型结构，

所述合金由下述化学式6A和化学式6B中的任一者表示，

所述压电薄膜包含氮化铝，

化学式6A：Pd_xNi_yIr_z，

所述化学式6A中，0＜x＜0.97，0＜y＜0.46，0＜z＜1.0；

化学式6B：Pd_xNi_yPt_z，

所述化学式6B中，0＜x＜0.97，0.03＜y＜0.5，0＜z＜0.89。