[发明专利]使用有效介质近似的多层膜度量

权利要求书

1.一种度量系统，其包括：

控制器，其通信地耦合到经配置以基于来自多层膜堆叠的照明光束的反射而生成检测信号的检测器，其中所述多层膜堆叠包含具有安置成重复样式的两种或更多种材料组合物的一或多个区域，其中已知所述一或多个区域内的每种材料组合物的层数，所述控制器包含经配置以执行程序指令的一或多个处理器，所述程序指令引起所述一或多个处理器：

通过使用有效介质模型来将所述多层膜堆叠的重复层的所述一或多个区域建模为具有区域厚度及有效介电常数值的厚膜而对所述多层膜堆叠对所述照明光束的反射进行建模，其中所述有效介质模型使所述一或多个区域的所述有效介电常数值与所述一或多个区域内的所述两种或更多种材料组合物的介电常数值及所述两种或更多种材料组合物的体积分率相关；

使用基于所述有效介质模型的所述检测信号的回归来确定所述区域厚度及所述体积分率的值；且

基于具有所述两种或更多种材料组合物中的每一者的层数、所述区域厚度、所述体积分率及所述有效介电常数值来确定所述一或多个区域内的所述两种或更多种材料组合物的平均厚度值。

2.根据权利要求1所述的度量系统，其中所述多层膜堆叠进一步包含一或多个非重复层，其中所述一或多个处理器进一步经配置以执行程序指令，所述程序指令引起所述一或多个处理器：

使用基于所述有效介质模型的所述检测信号的所述回归来确定所述一或多个非重复层的厚度的值。

3.根据权利要求2所述的度量系统，其中所述一或多个非重复层包括：

重复层的两个区域之间的顶层、底层或中间层中的至少一者。

4.根据权利要求1所述的度量系统，其中所述有效介质模型包括：

单轴膜模型。

5.根据权利要求4所述的度量系统，其中所述体积分率包括：

与正常分散相关联的第一组体积分率及与异常分散相关联的第二组体积分率。

6.根据权利要求1所述的度量系统，其中所述检测信号包括：

反射测量术、散射测量术或椭圆测量术检测信号中的至少一者。

7.根据权利要求1所述的度量系统，其中所述照明光束的照明源包括：

窄带照明源。

8.根据权利要求1所述的度量系统，其中所述照明光束的照明源包括：

宽带照明源。

9.根据权利要求1所述的度量系统，其中所述检测器包括：

光谱检测器，其中所述检测信号包括

光谱反射测量术或光谱椭圆测量术检测信号中的至少一者。

10.根据权利要求1所述的度量系统，其中所述照明光束的波长比所述两种或更多种材料组合物的厚度高至少一个数量级。

11.根据权利要求1所述的度量系统，其中所述照明光束的波长包含紫外线、可见光或红外线波长中的至少一者。