[发明专利]流体流通装置及其流通异常检测方法

权利要求书

1.一种流体流通装置，用于使处理对象流体流通，其特征在于包括：

流路形成体，其形成多个流体流路、多个检测用空间和多个连通路；以及

检测用液体和检测用气体，被收容在所述多个检测用空间的每一个中，其中，

所述多个流体流路中分别流通处理对象流体，

所述多个检测用空间与该多个流体流路的每一个相对应，该多个检测用空间的每一个沿指定的长度方向延伸，并且，该长度方向的两端中的至少一端被封闭，

所述多个连通路连接于所述多个流体流路的每一个中设定的流路连接部位和对应于该流体流路的所述检测用空间中设定的空间连接部位，使该流路连接部位和该空间连接部位连通，

所述检测用液体和所述检测用气体以如下方式被收容在所述检测用空间内，即：在所述检测用空间的长度方向排列而形成该检测用液体与该检测用气体之间的界面，且该检测用液体存在的区域包含所述空间连接部位，

所述检测用气体以容许所述界面的位置根据所述流路连接部位的所述处理对象流体的压力变动而变动的方式收容在所述检测用空间内。

2.根据权利要求1所述的流体流通装置，其特征在于，

所述多个检测用空间的至少一部分是其长度方向的两端被封闭的密闭空间，被封入在该密闭空间内的所述检测用气体以容许所述界面的位置根据所述流路连接部位的所述处理对象流体的压力变动而变动的方式，沿所述长度方向膨胀以及收缩。

3.根据权利要求1所述的流体流通装置，其特征在于，

所述多个检测用空间的至少一部分是只有其长度方向的一端被封闭而另一端被开放的开放空间，该开放空间内的所述检测用气体以容许所述界面的位置根据所述流路连接部位的所述处理对象流体的压力变动而变动的方式，出入于所述开放空间内。

4.根据权利要求1所述的流体流通装置，其特征在于，

所述检测用空间的至少一部分是只有其长度方向的一端被封闭而在另一端连接有开闭装置的可开闭空间，

所述开闭装置能够在封闭该开闭装置被连接的端的闭状态与开放该开闭装置被连接的端以容许所述检测用气体出入于所述可开闭空间的开状态之间切换，

所述检测用气体在所述开闭装置处于所述闭状态时以容许所述界面的位置根据所述流路连接部位的所述处理对象流体的压力变动而变动的方式，沿所述长度方向膨胀以及收缩。

5.根据权利要求1所述的流体流通装置，其特征在于，

所述多个流体流路沿第一面互相平行地延伸，

所述多个检测用空间相对于所述第一面沿其法线方向离开并顺着沿该第一面的第二面而延伸。

6.根据权利要求5所述的流体流通装置，其特征在于，

所述多个检测用空间沿对应于该检测用空间的所述流体流路而延伸。

7.根据权利要求1所述的流体流通装置，其特征在于，

所述多个连通路的每一个包含介于对应于该连通路的所述流体流路与所述检测用空间之间，将该流体流路和该检测用空间连通的分离用空间，

在该分离用空间内收容有介于在所述流体流路中流通的处理对象流体与所述检测用液体之间的分离用气体。

8.根据权利要求7所述的流体流通装置，其特征在于，

所述多个流体流路沿第一面互相平行地延伸，

所述多个检测用空间相对于所述第一面沿其法线方向离开并顺着沿该第一面的第二面且沿对应于该检测用空间的所述流体流路而延伸，

所述多个分离用空间沿介于所述第一面与所述第二面之间的第三面且沿对应于该分离用空间的所述流体流路和所述检测用空间而延伸。

9.根据权利要求1所述的流体流通装置，其特征在于，

所述流路形成体中封闭各所述检测用空间的长度方向的至少一端的部位具有容许从该流路形成体的外部至该端的光的透过的透光性。

10.根据权利要求1所述的流体流通装置，其特征在于还包括：

界面位置检测器，检测所述界面的位置。