[发明专利]热式流量计

说明书

本发明提供一种相较于以往而言可以减少流量精度的降低以及可靠性的降低还有热式流量计的成本增加、可以进行静电散逸机构的功能追加的热式流量计。本发明的热式流量计(1)具有：副通道(200)，其收取在主通道中流动的被测量气体(5)的一部分；流量测量部(300)的流量检测元件，其配置在副通道(200)内；电路封装件(301)，其支承流量检测元件；以及电路基板(101)，其固定电路封装件(301)。流量检测元件具有检测被测量气体的流量的检测面，检测面与电路基板(101)相对配置。电路基板(101)在与流量检测元件的检测面相对的位置上配置有GND电位的线路(309)。

技术领域

本发明涉及一种热式流量计。

背景技术

作为测量在主通道中流动的被测量气体的质量流量的装置，有热式流量计。热式流量计的结构是将在作为主通道的管道内流动的被测量气体的一部分收取至副通道并引导至流量测量部。近年来，有在流量测量部中配置MEMS式硅部件等而利用气体流动的冷却作用所导致的电阻值变化来测量管道内的质量流量。硅部件采用的是薄膜的膜片形状，因此热响应性能好，所以有高响应且能检测微细流量的优点，但反过来讲，在附着了污损物的情况下，也会产生相较于以往的性能而言发生大幅变化的缺点。

专利文献1中，出于避免污损物附着于流量测量部的污损对策的观点，提出了一种在旁路通道中设置有静电散逸机构的热式流量计的技术。根据所述记载，提出的是如下热式流量计：将新设的GND端子配置在框架上，压入对导电性树脂零件进行二次注塑得到的包覆组件和所述GND端子，由此构成静电散逸机构。

专利文献1的技术的目的在于通过该构成将侵入到旁路通道内的污损物的电荷去除或者予以吸附，从而抑制污损物在硅部件上的附着，提供一种耐久可靠性高的热式流量计。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：DE 10 2010 020 264 A1

发明内容

发明要解决的问题

所述以往的热式流量计中，为了设置静电散逸机构，除了流量测定的基本构成零件以外，还施加了以下4个要素的变更和追加：将导电性树脂材料成型得到的追加零件、对所述零件进行二次注塑的工序的追加、GND端子的追加、借助压入机构的接触连接机构的追加。热式流量计由于在旁路通道内设置流量测量部，因此构成所述旁路通道的尺寸精度、形状稳定性决定了流量精度。

例如在像专利文献1的实施例记载的那样对导电性树脂材料进行了绝缘性树脂二次注塑的情况下，与以往的单一成型品相比，随着累计公差增加，会产生旁路通道的尺寸精度变差的担忧。

此外，在像专利文献1的实施例记载的那样使用导电性树脂材料零件的情况下，相对于以往的绝缘性树脂材料而言，需要在树脂材料中混合用于具备导体性的碳或石墨等，因此会产生与以往的绝缘性树脂材料相比强度降低的担忧。

在热变化施加到所述以往的热式流量计的情况下，由于所述二次注塑而成的构成零件间的线性膨胀差，有发生由形状变形、界面的间隙产生等造成的可靠性的降低的担忧。

此外，在追加了新的GND端子的情况下，由于金属材料的使用量增加，会产生热式流量计的成本增加的担忧。

进而，关于连接部，由于导电性树脂零件与金属零件的线性膨胀差和接触连接的采用，有与以往的熔融接合(焊接结合等)相比可靠性降低的担忧。

本发明是鉴于所述问题而成，其目的在于提供一种一方面相较于以往而言可以减少热式流量计的流量精度降低和可靠性降低还有成本增加、另一方面可以构成静电散逸机构的热式流量计。

解决问题的技术手段