[发明专利]试样观察装置和试样观察方法

权利要求书

1.一种试样观察装置，其使用荧光来观察保持于试样容器的试样，该试样观察装置的特征在于，包括：

向所述试样照射面状光的照射部；

相对于作为XZ平面内的面的、所述面状光的照射面，在与所述XZ平面垂直的Y方向上扫描所述试样的扫描部；

将通过所述面状光的照射而在所述试样产生的荧光和散射光分别成像的成像部；

拍摄部，其拍摄由所述成像部成像的所述荧光的光像的至少一部分而输出第一图像数据，且拍摄由所述成像部成像的所述散射光的光像的至少一部分而输出第二图像数据；

图像处理部，其基于对于所述Y方向得到的多个所述第一图像数据生成荧光图像，并基于对于所述Y方向得到的多个所述第二图像数据生成散射光图像；和

解析部，其基于所述散射光图像确定所述荧光图像中的所述试样的存在区域，基于所述试样的存在区域设定所述荧光图像中的解析区域，解析所述解析区域中的荧光的强度，

所述照射部与所述成像部为彼此独立的光学系统，

所述成像部具有相对于所述照射面倾斜30度~65度的观察轴。

2.根据权利要求1所述的试样观察装置，其特征在于：

所述成像部具有切换部，该切换部在成像光路上切换使所述荧光透过的第一滤光片和使所述散射光透过的第二滤光片。

3.根据权利要求1所述的试样观察装置，其特征在于：

所述成像部具有分割所述荧光与所述散射光的光分割元件，

所述拍摄部具有：拍摄由所述光分割元件分割后的所述荧光的至少一部分的第一光检测器；和拍摄由所述光分割元件分割后的所述散射光的至少一部分的第二光检测器。

4.根据权利要求1所述的试样观察装置，其特征在于：

所述成像部具有分割所述荧光与所述散射光的光分割元件，

所述拍摄部包括光检测器，该光检测器具有包含拍摄由所述光分割元件分割后的所述荧光的至少一部分的第一拍摄区域和拍摄由所述光分割元件分割后的所述散射光的至少一部分的第二拍摄区域的受光面。

5.一种试样观察方法，其使用荧光来观察保持于试样容器的试样，该试样观察方法的特征在于，包括：

向所述试样照射面状光的照射步骤；

相对于作为XZ平面内的面的、所述面状光的照射面，在与所述XZ平面垂直的Y方向上扫描所述试样的扫描步骤；

将通过所述面状光的照射而在所述试样产生的荧光和散射光分别成像的成像步骤；

拍摄由所述成像步骤成像的所述荧光的光像的至少一部分而输出第一图像数据，且拍摄由所述成像步骤成像的所述散射光的光像的至少一部分而输出第二图像数据的拍摄步骤；

基于对于所述Y方向得到的多个所述第一图像数据生成荧光图像，并基于对于所述Y方向得到的多个所述第二图像数据生成散射光图像的图像处理步骤；和

基于所述散射光图像确定所述荧光图像中的所述试样的存在区域，基于所述试样的存在区域设定所述荧光图像的解析区域，解析所述解析区域中的荧光的强度的解析步骤，

执行所述照射步骤的照射部与执行所述成像步骤的成像部为彼此独立的光学系统，

在所述成像步骤中，观察轴相对于所述照射面倾斜30度~65度。