[发明专利]电子管

说明书

一种电子管(1)，其具备：光电面(3)，其发射与光L对应的电子E；雪崩光电二极管(6)，其以面向光电面(3)的方式配置；聚焦电极部(4)，其使电子E从光电面(3)朝向雪崩光电二极管(6)加速，并使电子E聚焦；框体(2)，其具有设置雪崩光电二极管(6)的管座(9)。管座(9)设置有使光L通过的光入射孔(26)，通过管座(9)对光入射孔(26)的周围进行遮光。聚焦电极部(4)具有第一区域(34a)和第二区域(34b)，上述第一区域(34a)设置有光通过孔(37)，上述第二区域(34b)设置有将电子E导向雪崩光电二极管(6)的电子通过孔(38)。第一区域(34a)在连结光入射孔(26)和光电面(3)的轴线(A1)上形成。第二区域(34b)在连结光电面(3)和雪崩光电二极管(6)的轴线(A2)上形成。

技术领域

本发明的一方面涉及一种电子管。

背景技术

用于检测光的电子管使通过光的入射从光电面发射的电子(光电子)朝向半导体元件加速，通过半导体元件捕捉电子。例如，专利文献1中公开的电子管从设置于腔室的一端侧的入射窗接收光。如果接收到的光入射到设置于面向入射窗的另一端侧的光电转换部，则光电转换部产生电子(光电子)。电子以面向光电转换部的方式入射到设置于入射窗的传感器。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利第6674063号说明书

发明内容

发明所要解决的问题

专利文献1公开了一种反射型电子发射倍增型光传感器，其以设置电子检测元件的管座全面为入射窗。在专利文献1公开的电子管中，从入射窗接收的光有时以光的入射方式直接入射到光电面。另外，光有时也入射到腔室的内壁。但是，即使在光入射到腔室的内壁的情况下，通过将反射面设置于腔室的内壁，也会通过反射面反射入射到腔室的内壁的光，之后入射到光电面。因此，因光的入射方式，从入射窗到光电面的距离有时会发生改变。就专利文献1的光传感器而言，管座全面为入射窗。因此，入射的光可遵循各种路径。其结果，在将组成物配置于管座和光电面之间的情况下，光可能被组成物遮挡。因此，难以将聚焦电极设置于设于管座的电子检测元件和光电面之间。其结果，根据光入射的方式，从电子检测元件输出的信号在时间上发生波动。因此，难以可靠地得到希望的时间特性。

本发明的一方面的目的在于提供一种可以可靠地得到希望的时间特性的电子管。

用于解决问题的技术方案

本发明的一方面，其具备：光电转换部，其发射与入射的光对应的电子；电子检测部，其以面向光电转换部的方式配置，接收电子；聚焦电极部，其包含配置于光电转换部和电子检测部之间的电极板，使电子从光电转换部朝向电子检测部加速，并使电子聚焦；框体，其具有设置电子检测部的管座部，形成配置光电转换部及电子检测部的保持为真空的内部空间，管座部设置有使光通过的光入射窗部，并且具有对光入射窗部的周围进行遮光的遮光部，电极板具有第一区域和第二区域，所述第一区域设置有光通过部，所述光通过部通过使从光入射窗部导入的光通过而将光导向光电转换部，所述第二区域具有电子通过部，所述电子通过部通过使从光电转换部发射的电子通过而将电子导向电子检测部，第一区域在连结光入射窗部和光电转换部的第一轴线上形成，第二区域在连结光电转换部和电子检测部的第二轴线上形成。

通过设置于管座部且对其周围进行遮光的光入射窗在框体内接收光。在框体内接收到的光通过电极板的光通过部。通过光通过部的光到达光电转换部。即，将来自管座部的光的入射限定为经由光入射窗部的入射。通过光入射窗部的光从光通过部通过。因此，最终到达光电转换部的光必定通过光通过部。这样，将光从具有光入射窗部的管座部入射而到达光电转换部的方式限定为通过入射窗部及光通过部的方式。其结果，抑制入射路径的偏差。因此，将从光入射窗部到光电转换面的距离收敛于规定范围。通过聚焦电极部使从光电转换部发射的电子聚焦。将聚焦后的电子导入电子检测部。因此，从电子检测部输出的信号的时间上的波动降低。其结果，能可靠地得到希望的时间特性。