[发明专利]用于操作集成MEMS麦克风设备的方法和集成MEMS麦克风设备

权利要求书

1.一种用于操作集成MEMS麦克风设备（1）的方法，所述集成MEMS麦克风设备包括包围内部腔（16）的封装壳体（10），其中，在内部腔（16）内设置有具有可移动膜（19）的集成MEMS麦克风管芯（12）、至少一个环境传感器（13）和热去耦电路（14），所述方法包括以下步骤：

-在测量模式（MM）中重复操作环境传感器（13）；

-对于环境传感器（13）的测量模式（MM）之前和/或之后的过渡阶段（TP1、TP2），激活所述热去耦电路（14）；以及

-在过渡阶段（TP1、TP2）期间，逐渐调整进入内部腔（16）的热耗散，其中，根据具有特征时间常数的过渡函数来调整所述热耗散。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，

-在测量模式（MM）中，在操作条件下操作环境传感器（13），所述操作条件限定进入内部腔（16）的第一水平的热耗散；并且其中：

-在测量模式（MM）之前的过渡阶段（TP1）中，逐渐调整所述热耗散以达到第一水平，和/或

-在测量模式（MM）之后的过渡阶段（TP2）中，调整所述热耗散以下降到低于第一水平。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，设置所述过渡函数使得由于调整内部腔（16）内的热耗散导致的压强变化在所述可移动膜（19）中引起对于人听不到的振动频率，特别地，小于50Hz或小于20Hz的振动频率。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，

-对于测量模式（MM）之前的过渡阶段（TP1），所述过渡函数随时间增大，和/或

-对于测量模式（MM）之后的过渡阶段（TP2），所述过渡函数随时间减小。

5.根据权利要求1或2所述的方法，其中，

-通过开启环境传感器（13）来启动所述测量模式（MM），和/或

-通过关闭环境传感器（13）来终止所述测量模式（MM）。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，

-当启动测量模式（MM）时，热耗散满足第一水平，和/或

-当终止测量模式（MM）时，热耗散从第一水平下降。

7.根据权利要求5所述的方法，其中，

-当启动测量模式（MM）时，开启所述热去耦电路（14），和/或

-当终止测量模式（MM）时，关闭所述热去耦电路（14）。

8.根据权利要求6所述的方法，其中，所述热去耦电路（14）包括可调整的电流源或可调整的电流阱，以将热量耗散到内部腔（16）中，并且所述热去耦电路（14）与环境传感器（13）分开，并且其中：

-根据过渡函数调整热去耦电路（14）的耗散电流（Id），并且其中，

-在测量模式（MM）之前的过渡阶段（TP1）中，调整所述耗散电流（Id）直到其满足操作电流（Iq），其中，所述操作电流（Iq）由测量模式（MM）的操作条件限定，和/或

-在测量模式（MM）之后的过渡阶段（TP2）中，调整所述耗散电流（Id）从操作电流（Iq）下降。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，所述热去耦电路（14）由环境传感器（13）构成，并且在测量模式（MM）中保持开启。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，

-在测量模式（MM）之前的过渡阶段（TP1）中，增大所述操作电流（Iq），直到所述操作电流（Iq）达到由测量模式（MM）的操作条件限定的值，和/或

-在测量模式（MM）之后的过渡阶段（TP2）中，减小所述操作电流（Iq），直到环境传感器（13）关闭。

11.根据权利要求1或2所述的方法，其中，环境传感器包括以下中的至少一者：

-温度传感器，

-压强传感器，

-湿度传感器，

-气体传感器，和/或

-空气质量传感器。