[发明专利]用于干涉仪的反射镜轴承

权利要求书

1.一种用于干涉仪的反射镜轴承，所述反射镜轴承包括：

安装构件，所述安装构件被构造成在所述安装构件的第一端部刚性地耦接到所述干涉仪，并且包括：

镗孔，所述镗孔沿所述安装构件的纵向轴线延伸通过所述安装构件，以及

驱动线圈接收区，所述驱动线圈接收区被构造成将在所述驱动线圈接收区耦接到所述安装构件的驱动线圈保持在固定位置处；以及

可移动反射镜组件，包括：

管，所述管被构造成通过所述管的第一端部接收所述安装构件的被设置成与所述安装构件的第一端部相反的第二端部，其中，所述管被构造成能沿所述纵向轴线相对于所述安装构件滑动地移动，

反射镜，所述反射镜耦接至所述管的与所述管的第一端部相反的第二端部，以及

驱动磁体，所述驱动磁体耦接至所述反射镜且被设置在所述管内，其中，所述驱动磁体被构造成通过所述安装构件的第二端部被接收并被设置在所述安装构件的所述镗孔内。

2.根据权利要求1所述的反射镜轴承，其中，所述安装构件在所述驱动线圈接收区处的第一直径比所述安装构件在所述安装构件的第一端部和第二端部处的第二直径小，并且其中，所述驱动线圈的传导线缠绕在所述驱动线圈接收区周围。

3.根据权利要求1所述的反射镜轴承，还包括：排斥磁体，所述排斥磁体设置在所述安装构件的所述镗孔内，靠近所述安装构件的第一端部，并且其中，所述排斥磁体在远离所述安装构件的第一端部并朝向所述安装构件的第二端部的方向上对所述驱动磁体提供排斥力。

4.根据权利要求3所述的反射镜轴承，还包括用于所述排斥磁体的位置调节器，并且其中，所述位置调节器被构造成沿着所述安装构件的所述纵向轴线调节所述排斥磁体的位置。

5.根据权利要求3所述的反射镜轴承，还包括：止动构件，所述止动构件限制所述可移动反射镜组件在远离所述安装构件的第一端部并朝向所述安装构件的第二端部的方向上的移动。

6.根据权利要求1所述的反射镜轴承，其中，所述安装构件的第一端部包括凸缘，所述凸缘被构造成将所述安装构件耦接至所述干涉仪的本体。

7.根据权利要求1所述的反射镜轴承，其中，所述安装构件还包括位于所述安装构件的第一端部与所述驱动线圈接收区之间的凸缘，并且其中，所述凸缘被构造成在所述安装构件被设置在所述管内的情况下支撑所述可移动反射镜组件的所述管的第一端部。

8.根据权利要求1所述的反射镜轴承，其中，所述安装构件在所述安装构件的侧壁中限定一孔，并且所述孔位于所述安装构件的第一端部与所述驱动线圈接收区之间，并且其中，所述孔被构造成提供所述驱动线圈的导线从所述驱动线圈接收区进入所述安装构件的所述镗孔内的通道。

9.根据权利要求1所述的反射镜轴承，其中，所述可移动反射镜组件还包括耦接至所述可移动反射镜组件的所述管的外表面的防转动磁体，并且其中，所述防转动磁体被构造成防止所述可移动反射镜组件围绕所述安装构件的所述纵向轴线的不期望转动。

10.根据权利要求1所述的反射镜轴承，其中，所述安装构件具有整体结构。

11.根据权利要求1所述的反射镜轴承，其中，所述安装构件还包括所述驱动线圈，并且其中，所述驱动线圈在所述安装构件的所述驱动线圈接收区耦接至所述安装构件。

12.根据权利要求1所述的反射镜轴承，其中，所述安装构件以及所述可移动反射镜组件的所述管各自完全由无粉尘石墨构建。

13.根据权利要求1所述的反射镜轴承，其中，所述安装构件直接耦接至所述干涉仪的本体。