[发明专利]基板收纳容器

说明书

本发明提供一种基板收纳容器，安装于基板收纳容器的阀体(40)具有：第一筒部(410)，其一端形成在与容器主体(10)的外部连通的固定筒(41)上；以及第二筒部(430)，其一端与容器主体(10)的内部连通，并且形成在从第一筒部(410)的另一端隔开而设置的中盖筒(43)上；以及栓部(431)，其位于第一筒部(410)的另一端与第二筒部(430)的另一端之间；以及弹性体(44)，其至少覆盖栓部(431)，具有等于或者小于栓部(431)的外径的内径；通过栓部(431)与弹性体(44)紧密接触，从而控制气体相对于容器主体(10)的流通。据此，能够提供一种具备不使用金属制的部件就能够控制气体的流通的阀体的基板收纳容器。

技术领域

本发明涉及一种具备控制气体相对于容器主体的流通的阀体的基板收纳容器。

背景技术

收纳基板的基板收纳容器具备容器主体、封闭容器主体的开口的盖体、以及控制气体相对于容器主体的流通的阀体。该阀体具有止回阀功能，且具有阀主体和使阀主体开闭的金属制的弹性部件(例如，参照专利文献1以及专利文献2)。

由于阀体的止回阀功能是控制单向的气体的流通的功能，因此，可以根据气体的流通方向，来更换阀体本身，或者更换阀体和弹性部件。

现有技术

专利文献

专利文献1：日本特许公开JP 2008-066330号公报

专利文献2：日本特许公开JP 2004-179449号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

然而，基板收纳容器为了以气密状态收纳基板，而从阀体供给气体，另外，且经由阀体排出，但在对收纳的基板进行加工时，存在附着在基板上的残留物质也与供给的气体一起排出。因此，存在阀体的金属制的弹性部件等有时会被残留物质腐蚀的情形。

因此，本发明是鉴于以上课题而完成的，其目的在于提供一种具备不使用金属制的部件就能够控制气体的流通的阀体的基板收纳容器。

另外，本发明的目的还在于提供一种具备阀体的基板收纳容器，该阀体能够控制气体的供给或者排气这样的气体向两个方向的流通。

解决技术问题的技术手段

(1)本发明所涉及的一个技术方案是一种基板收纳容器，其具备：容器主体，其收纳基板；以及盖体，其封闭所述容器主体的开口；以及阀体，其控制气体相对于所述容器主体的流通；其中，所述阀体具有：第一筒部，其一端与所述容器主体的外部连通；以及第二筒部，其一端与所述容器主体的内部连通，并且与所述第一筒部的另一端隔开而设置；以及栓部，其位于所述第一筒部的另一端与所述第二筒部的另一端之间；以及弹性体，其至少覆盖所述栓部，具有等于或者小于所述栓部的外径的内径；通过所述栓部与所述弹性体紧密接触，从而控制所述气体相对于所述容器主体的流通。

(2)在上述(1)的技术方案中，也可以是，所述弹性体为具有内部通路的筒状，并且，以使所述气体仅在所述第一筒部的内部通路、所述弹性体的内部通路、以及所述第二筒部的内部通路中流动的方式，分别对所述第一筒部与所述栓部之间、以及所述栓部与所述第二筒部之间进行密封。

(3)在上述(1)或(2)的技术方案中，也可以是，其中，当对所述第一筒部或者所述第二筒部施加正压的情况时，所述弹性体通过膨胀而与所述栓部之间形成间隙，从而能够使所述气体相对于所述容器主体流通，并且，当对所述第一筒部以及所述第二筒部不施加正压的情况时，所述弹性体与所述栓部紧密接触，从而阻断所述气体相对于所述容器主体的流通。