[发明专利]用于三向同性颗粒的化学气相沉积涂层的多入口气体分布器

权利要求书

1.一种用于流化床化学气相沉积室的多入口气体分布器，包括：

分布器主体，所述分布器主体具有入口表面、与所述入口表面相对的出口表面以及侧周界表面，所述侧周界表面在所述入口表面与所述出口表面之间延伸并且将所述入口表面连接到所述出口表面；

多个入口，所述多个入口彼此均匀地间隔开，其中，所述多个入口从所述入口表面穿透所述分布器主体到达第一深度；以及

圆锥形孔，所述圆锥形孔在所述第一深度处连接到所述多个入口中的相应入口，并且从所述第一深度朝向所述出口表面延伸，其中，在所述圆锥形孔的交点处在所述出口表面上形成顶点，并且在所述圆锥形孔中的至少一个圆锥孔与所述侧周界表面的交点处，形成沿所述出口表面具有拱形边缘的鞍部。

2.根据权利要求1所述的多入口气体分布器，其中，在所述圆锥形孔中的每个相邻的圆锥形孔的交点之间形成顶点脊。

3.根据权利要求2所述的多入口气体分布器，其中，所述顶点脊在所述侧周界表面和所述顶点之间延伸。

4.根据权利要求1所述的多入口气体分布器，其中，所述多个入口自所述出口表面的中心均匀地间隔开。

5.根据权利要求1所述的多入口气体分布器，其中，在两个邻接的圆锥形孔相交但不与所述侧周界表面相交的所述出口表面上形成肩部。

6.根据权利要求1所述的多入口气体分布器，其中，在所述圆锥形孔中的两个邻接的圆锥形孔与所述侧周界表面的交点处形成峰。

7.根据权利要求1所述的多入口气体分布器，其中，所述圆锥形孔是直立圆形圆锥。

8.根据权利要求1所述的多入口气体分布器，其中，所述圆锥形孔形成内角在45°和55°之间的直立圆形圆锥。

9.根据权利要求1所述的多入口气体分布器，其中，所述多入口气体分布器的截面的形状选自由以下组成的群组：圆形、三角形、方形、五边形、六边形或八边形。

10.根据权利要求1所述的多入口气体分布器，其中，所述分布器主体由一种或多种材料形成，所述一种或多种材料选自由以下组成的群组：石墨、铝、钢、钛、合金钢、塑料或聚合物。

11.根据权利要求1所述的多入口气体分布器，其中，所述分布器主体的总厚度在1.25英寸和2.30英寸之间。

12.根据权利要求1所述的多入口气体分布器，其中，所述多个入口的所述第一深度为约0.25英寸。

13.根据权利要求1所述的多入口气体分布器，其中，所述多个入口的外径为约7/64^th英寸。

14.根据权利要求1所述的多入口气体分布器，其中，所述分布器主体的在其中心和所述侧周界表面之间的半径为约0.5英寸。

15.根据权利要求1所述的多入口气体分布器，其中，所述分布器主体的外径在2.0英寸和6.0英寸之间。

16.根据权利要求1所述的多入口气体分布器，其中，所述分布器主体的外径为约2.0英寸。