[发明专利]试样观察装置和试样观察方法在审
申请号: | 201880048132.8 | 申请日: | 2018-05-30 |
公开(公告)号: | CN110945403A | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
发明(设计)人: | 山本谕;松原正典;杉山范和;小林正典 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G02B21/06 | 分类号: | G02B21/06;G01N15/14;G01N21/17;G01N21/64 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;徐飞跃 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 试样 观察 装置 方法 | ||
1.一种试样观察装置,其特征在于,包括:
流动池,其中流动含有试样的流体;
照射部,其向所述流动池内流动的所述试样照射面状光;
成像部,其具有相对于所述面状光的照射面倾斜的观察轴,使通过所述面状光的照射而在所述试样产生的观察光成像;
二维拍摄元件,其拍摄由所述成像部成像的所述观察光的光像中的至少包含所述流体的截面的光像,并输出图像数据;和
解析部,其基于所述图像数据,解析在所述流体的流动方向上的所述试样的光强度分布。
2.根据权利要求1所述的试样观察装置,其特征在于:
所述照射部所产生的所述面状光的光轴与所述流动池中的所述面状光的入射面正交。
3.根据权利要求1或2所述的试样观察装置,其特征在于:
所述照射部所产生的所述面状光的光轴与所述流动池中的所述流体的流动方向正交。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的试样观察装置,其特征在于:
所述解析部基于所述图像数据,解析所述试样的流速。
5.根据权利要求4所述的试样观察装置,其特征在于:
所述解析部基于所述试样的流速,修正所述光强度分布。
6.根据权利要求1~5中任一项所述的试样观察装置,其特征在于:
所述二维拍摄元件通过读出子阵列来拍摄由所述成像部成像的所述观察光的光像中的至少包含所述流体的截面的光像。
7.根据权利要求1~6中任一项所述的试样观察装置,其特征在于:
所述成像部包括物镜和配置于所述流动池与所述物镜之间的第一光学元件,
所述第一光学元件是具有比所述成像部的配置空间的折射率大的折射率,且与没有配置该第一光学元件的情况相比,使从所述试样射出的所述观察光的相对于所述面状光的照射面的倾斜角度增大的光学元件。
8.根据权利要求7所述的试样观察装置,其特征在于:
所述第一光学元件是楔形棱镜。
9.根据权利要求7或8所述的试样观察装置,其特征在于:
所述第一光学元件是组合一对楔形棱镜而成的双棱镜。
10.根据权利要求7~9中任一项所述的试样观察装置,其特征在于:
所述成像部包括:配置于所述物镜的后段侧的成像透镜;和配置于所述成像透镜与所述二维拍摄元件之间的第二光学元件,
所述第二光学元件是使所述观察光的一个轴的光线弯曲,且使与所述一个轴正交的另一个轴的光线不弯曲的非轴对称的光学元件。
11.根据权利要求10所述的试样观察装置,其特征在于:
所述第二光学元件是楔形棱镜。
12.根据权利要求10或11所述的试样观察装置,其特征在于:
所述第二光学元件是组合一对楔形棱镜而成的双棱镜。
13.一种试样观察方法,其特征在于,包括:
流体形成步骤,使流动池内流动包含试样的流体;
照射步骤,向所述流动池内流动的所述试样照射面状光;
成像步骤,通过具有相对于所述面状光的照射面倾斜的观察轴的成像部,使通过所述面状光的照射而在所述试样产生的观察光成像;
拍摄步骤,通过二维拍摄元件拍摄由所述成像部成像的所述观察光的光像中的至少包含所述流体的截面的光像,并输出图像数据;和
解析步骤,基于所述图像数据,解析在所述流体的流动方向上的所述试样的光强度分布。
14.根据权利要求13所述的试样观察方法,其特征在于:
在所述照射步骤中,使所述面状光的光轴与所述流动池中的所述面状光的入射面正交。
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