[发明专利]用于检查样品的多通道共焦传感器和相关方法

权利要求书

1.一种多通道共焦传感器，其包括至少一个光源(14)、至少一个聚焦透镜布置(10)以及至少一个光学检测器(25)，

其特征在于，还包括：

-第一光学集成电路(11)，其布置为将来自所述至少一个光源(14)的光束(24)分离成多个发射光束，所述多个发射光束施加到发射孔(29)的高密度阵列，

-第二光学集成电路(20)，其布置为在多个收集孔(18)上收集来自待检查样品(17)的多个反射光束并且将所述反射光束传输到所述至少一个光学检测器(25)，

-分束器(22)，其布置为(i)通过所述至少一个聚焦透镜布置(10)将所述发射光束从所述第一光学集成电路(11)引导到所述检查样品(17)，以及(ii)通过所述至少一个聚焦透镜布置(10)将所述反射光束从所述检查样品(17)引导到所述第二光学集成电路(20)中，

所述第一光学集成电路(11)包括光学发射通道波导(12)的阵列，其中，所述光学发射通道波导(12)包括在光源(14)的光谱范围内的单模波导。

2.根据权利要求1所述的传感器，其中所述第一光学集成电路(11)包括光学发射通道波导(12)的阵列，所述发射通道波导的阵列在光源(14)的光谱范围内基本消色差并且具有形成所述发射孔(29)的端部。

3.根据权利要求2所述的传感器，其中所述第一光学集成电路(11)还包括Y形结分离器，所述Y形结分离器在光源(14)的光谱范围内基本消色差。

4.根据权利要求2或3所述的传感器，其中所述第二光学集成电路(20)包括光学检测通道波导(19)的阵列，所述光学检测通道波导的阵列在光源(14)的光谱范围内基本消色差并且具有形成收集孔(18)的第一端部。

5.根据权利要求4所述的传感器，其中所述光学检测通道波导(19)和光学发射通道波导(12)分别在收集孔(18)和发射孔(29)侧具有相同的间隔。

6.根据权利要求4所述的传感器，其中所述光学检测通道波导(19)具有比光学发射通道波导(12)直径大的直径。

7.根据权利要求4所述的传感器，其中所述光学检测通道波导(19)在收集孔(18)侧具有的接收角大于光学发射通道波导(12)在发射孔(29)侧具有的接收角。

8.根据权利要求6所述的传感器，其中所述检测通道波导(19)包括光源(14)的光谱范围内的多模波导。

9.根据权利要求4所述的传感器，其中所述检测通道波导(19)设计为在第二端部上与所述至少一个光学检测器(25)的检测元件的孔和/或像素间距直接或在共轭平面中匹配。

10.根据权利要求4所述的传感器，其中所述检测通道波导(19)布置为使得所述至少一个光学检测器(25)位于收集孔(18)处的在检测通道波导(19)之间耦合到第二集成电路中的杂散光的视线之外。

11.根据权利要求1至3中任一项所述的传感器，其中所述第一光学集成电路(11)和第二光学集成电路(20)中的至少一个包括平面基底上的平面波导。

12.根据权利要求11所述的传感器，其包括平面基底上形成的第一光学集成电路(11)和第二光学集成电路(20)，所述第一光学集成电路和第二光学集成电路布置为具有分别面向分束立方体形式的分束器(22)的侧面的边缘。

13.根据权利要求1至3中任一项所述的传感器，其中所述第一光学集成电路和第二光学集成电路还包括对准光学通道波导。

14.根据权利要求1至3中任一项所述的传感器，其中所述第一光学集成电路(11)和第二光学集成电路(20)和分束器(22)彼此永久固定。