[发明专利]校正装置、编码器装置及其制造方法

权利要求书

1.一种编码器装置，其特征在于，具备：

标尺，其安装于旋转轴且包含增量图案及绝对图案；

第1检测部，其检测所述标尺并输出表示所述旋转轴的旋转位置信息及角度位置信息的第1检测信号；

存储部，其存储误差信息，所述误差信息是使用两个检测部中的至少一个检测部与所述第1检测部的相对位置而计算出的，其中，所述两个检测部是不同于所述第1检测部的检测部，所述两个检测部中的至少一个检测部与所述第1检测部的相对位置是基于所述第1检测信号、第2检测信号及第3检测信号计算出的，所述第2检测信号和所述第3检测信号是所述两个检测部检测与所述第1检测部检测的标尺相同的标尺并输出的信号；和

修正部，其使用所述误差信息，修正从所述第1检测信号得到的所述旋转轴的旋转位置信息。

2.如权利要求1所述的编码器装置，其特征在于，

具备处理部，所述处理部基于所述第1检测信号计算出所述旋转位置信息。

3.如权利要求1所述的编码器装置，其特征在于，

具备位置计算部，所述位置计算部计算出在从所述旋转轴的旋转轴方向观察时所述第1检测部与所述两个检测部中的一个检测部以所述旋转轴为中心所成的角来作为所述相对位置。

4.如权利要求3所述的编码器装置，其特征在于，

所述位置计算部基于所述第1检测信号与所述第2检测信号之差及所述第1检测信号与所述第3检测信号之差，计算出所述相对位置。

5.如权利要求3或4所述的编码器装置，其特征在于，

所述位置计算部基于所述第1检测信号与所述第2检测信号之差的振幅及相位以及所述第1检测信号与所述第3检测信号之差的振幅及相位，计算出所述相对位置。

6.一种编码器装置，计算旋转轴的旋转位置信息，所述编码器装置的特征在于，具备：

标尺，其安装于所述旋转轴且包含增量图案及绝对图案；

被校正用检测部，其固定于基板，检测所述标尺并输出表示所述旋转轴的旋转位置信息及角度位置信息的第1检测信号；

处理部，其基于所述第1检测信号计算出所述旋转位置信息；和

修正部，其使用存储于存储部的误差信息对所述旋转位置信息进行修正，

在计算所述误差信息的情况下，两个校正用检测部被安装于所述基板，所述误差信息是基于所述被校正用检测部与至少一个所述校正用检测部的相对位置而计算出的，所述被校正用检测部与至少一个所述校正用检测部的相对位置是使用所述第1检测信号、第2检测信号及第3检测信号而计算出的，所述第2检测信号和所述第3检测信号是所述两个校正用检测部检测与所述被校正用检测部检测的标尺相同的标尺并输出的信号。

7.如权利要求6所述的编码器装置，其特征在于，

在计算所述旋转位置信息的情况下，在所述两个校正用检测部被从所述基板拆下的状态下，所述处理部使用所述第1检测信号计算出所述旋转位置信息。

8.如权利要求6或7所述的编码器装置，其特征在于，

具备位置计算部，所述位置计算部计算出在从所述旋转轴的旋转轴方向观察时所述被校正用检测部与所述两个校正用检测部中的一个校正用检测部以所述旋转轴为中心所成的角来作为所述相对位置。

9.如权利要求8所述的编码器装置，其特征在于，

所述位置计算部基于所述第1检测信号与所述第2检测信号之差及所述第1检测信号与所述第3检测信号之差，计算出所述相对位置。

10.一种校正装置，其特征在于，具备：

位置计算部，其基于分别从对标尺配置且检测该标尺的第1检测部、第2检测部及第3检测部得到的表示旋转体的旋转位置信息及角度位置信息的检测信号，计算出所述第1检测部与所述第2检测部的相对位置，其中所述标尺安装于所述旋转体且包含增量图案及绝对图案；和

误差计算部，其基于所述检测信号及所述位置计算部计算出的所述相对位置，计算出相对于所述旋转体的旋转位置信息的误差信息。