[发明专利]经由添加有机碱的PVDF-HFP的加速热交联以及使用交联的PVDF-HFP作为OTFT装置的栅极介电材料有效
申请号: | 201880050020.6 | 申请日: | 2018-07-30 |
公开(公告)号: | CN110997832B | 公开(公告)日: | 2023-05-05 |
发明(设计)人: | 贺明谦;李阳;K·梅罗特拉;王宏祥 | 申请(专利权)人: | 康宁股份有限公司 |
主分类号: | H10K85/10 | 分类号: | H10K85/10;C09D127/16;C08K5/17;H10K10/46;H10K71/40;H10K71/12 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 徐鑫;项丹 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 经由 添加 有机 pvdf hfp 加速 交联 以及 使用 作为 otft 装置 栅极 材料 | ||
1.一种制备晶体管的方法,其包括:
混合如下物质:
溶剂,
可热交联的含氟聚合物,和
一种或多种有机碱,
以形成混合溶液;
将混合溶液沉积到基材上以形成第一层;
通过热处理对所述第一层进行交联,以形成交联的第一层;
在形成交联的第一层之前或之后,将有机半导体沉积在基材上以形成第二层,使得所述第二层与所述交联的第一层直接接触;
在形成所述第二层之前或之后,形成与所述第二层接触的源极和漏极,所述源极和漏极限定了穿过所述第二层的通道的端部;以及
形成与通道重叠的栅极,其中,所述交联的第一层将所述栅极与所述第二层分开,
其中,
含氟聚合物是偏二氟乙烯与一种或多种含氟烯键式单体的共聚物;以及
所述一种或多种有机碱分别具有10至14的pKa,以及可热交联的含氟聚合物与所述一种或多种有机碱的重量比为1000:2至1000:10,
其中,含氟聚合物中的VDF单元的摩尔比例是0.2至0.6。
2.如权利要求1所述的方法,其中,所述一种或多种含氟烯键式单体由如下化学式(1)或化学式(2)表示:
CF2=CF-Rf1 (化学式(1))
其中,
Rf1选自:-F、CF3和-ORf2;以及
Rf2是具有1至5个碳原子的全氟烷基基团;
CX2=CY-Rf3 (化学式(2))
其中,
X是-H或卤素原子;
Y是-H或卤素原子;以及
Rf3是-H或-F或具有1至5个碳原子的全氟烷基基团或具有1至5个碳原子的多氟烷基基团。
3.如权利要求1所述的方法,其中,所述一种或多种含氟烯键式单体选自:四氟乙烯、氯三氟乙烯、三氟乙烯、六氟丙烯、三氟丙烯、四氟丙烯、五氟丙烯、三氟丁烯、四氟异丁烯、全氟(烷基乙烯基醚),及其组合。
4.如权利要求1所述的方法,其中,含氟聚合物是聚(偏二氟乙烯共六氟丙烯)。
5.如权利要求1-4中任一项所述的方法,其中,所述一种或多种有机碱分别具有如下化学式:
其中,
有机碱的分子量是1000或更小;
R1和R2形成C2-C12亚烷基桥,或者相互独立地是C1-C18烷基;
不依赖于R1和R2,R3和R4形成C2-C12桥,或者相互独立地是C1-C18烷基。
6.如权利要求1-4中任一项所述的方法,其中,所述一种或多种有机碱选自:1,8-二氮杂二环[5.4.0]十一碳-7-烯;1,5-二氮杂二环[4.3.0]壬-5-烯;四甲基胍;三乙胺;六亚甲基二胺;甲胺;二甲胺;乙胺;吖丁啶;异丙胺;丙胺;1.3-丙二胺;吡咯烷;N,N-二甲基甘氨酸;丁胺;叔丁胺;哌啶;胆碱;对苯二酚;环己胺;二异丙胺;糖精;邻-甲酚;δ-麻黄素;丁基环己基胺;十一烷基胺;4-二甲基氨基吡啶;二亚乙基三胺;4-氨基苯酚;及其组合。
7.如权利要求1-4中任一项所述的方法,其中,所述一种或多种有机碱是1,8-二氮杂二环[5.4.0]十一碳-7-烯。
8.如权利要求2所述的方法,其中,X是-F。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于康宁股份有限公司,未经康宁股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201880050020.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。