[发明专利]有机金属化合物和沉积高纯度氧化锡方法在审
| 申请号： | 201880050021.0 | 申请日： | 2018-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN111032667A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | R·奥德拉;董存海;D·法布里亚克;W·格拉夫 | 申请（专利权）人： | 海星化学有限公司 |
| 主分类号： | C07F7/22 | 分类号： | C07F7/22;C23C16/40;C23F1/02 |
| 代理公司： | 上海一平知识产权代理有限公司 31266 | 代理人： | 徐迅;崔佳佳 |
| 地址： | 加拿大不列*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 有机 金属 化合物 沉积 纯度 氧化 方法 | ||
1.式1的有机金属化合物：
Rx-Sn-A4-x 式I
其中，
A选自下组：(Ya R’z)和3至7元含氮杂环基；
每个R基团独立地选自下组：具有1至10个碳原子的烷基或芳基；
每个R’基团独立地选自下组：具有1至10个碳原子的烷基、酰基或芳基；
x是0至4的整数；
a是0至1的整数；
Y选自下组：N、O、S和P；且
当Y为O、S或Y不存在时，z为1；当Y为N或P时，z为2。
2.根据权利要求1所述的有机金属化合物，其特征在于，A选自下组：(NR’2)基和3至7元含N杂环基。
3.根据权利要求2所述的有机金属化合物，其特征在于，A是(NR’2)基团。
4.根据权利要求2所述的有机金属化合物，其特征在于，A为3至7元含N杂环基。
5.根据权利要求8所述的有机金属化合物，其特征在于，A为吡咯烷基。
6.根据权利要求1所述的有机金属化合物，其特征在于，A4-x为(NMe2)2或(NEtMe)2。
7.根据前述权利要求中任一项所述的有机金属化合物，其特征在于，每个R和R’基团是独立选择的具有1至10个碳原子的烷基。
8.根据权利要求4所述的有机金属化合物，其特征在于，每个R和R’基团是独立选择的具有1至6个碳原子的烷基。
9.根据权利要求5所述的有机金属化合物，其特征在于，每个R和R’基团是独立选择的具有1-4个碳原子的烷基。
10.根据权利要求6所述的有机金属化合物，其特征在于，每个R和R′独立地选自下组：甲基、乙基、丙基、异丙基、叔丁基、异丁基和正丁基。
11.根据权利要求1-6或8-12中任一项所述的有机金属化合物，其特征在于，R和R’表示不同的烷基。
12.根据权利要求1的所述有机金属化合物，其特征在于，式I化合物选自下组：Me2Sn(NMe2)2、Me2Sn(NEtMe)2、t-BuSn(NEtMe)3、i-PrSn(NEtMe)3、n-Pr(NEtMe)3、EtSN(NEtMe)3、i-BuSn(NEtMe)3、Et2Sn(NEtMe)2、Me2Sn(NEtMe)2、Sn(NEtMe)4、Bu2Sn(NEtMe)2、Et2Sn(NMe2)2、Me2Sn(NEt2)2、Sn(吡咯烷基)4和Bu2Sn(吡咯烷基)2。
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