[发明专利]具有窗口的抛光垫及其制造方法

权利要求书

1.一种形成抛光垫的方法，包括：

通过分配第一前驱物组成物和窗口前驱物组成物，以形成所述抛光垫的第一层，所述第一层包含第一抛光垫元件和窗口特征中的每一者的至少部分；以及

使所分配的第一前驱物组成物与所分配的窗口前驱物组成物部分硬化，以形成至少部分硬化的第一层。

2.如权利要求1所述的方法，进一步包括：

通过分配所述窗口前驱物组成物和第二前驱物组成物，以在所述至少部分硬化的第一层上形成第二层，其中所述第二层包含所述窗口特征和一或更多第二抛光垫元件中的每一者的至少部分；以及

使置于所述第二层内的所分配的窗口前驱物组成物与所分配的第二前驱物组成物部分硬化。

3.如权利要求2所述的方法，其中形成所述第二层包括：形成多个第二子层，所述多个第二子层各自通过分配所述窗口前驱物组成物的液滴和所述第二前驱物组成物的液滴而形成，其中在所述多个第二层中每一层的部分硬化期间，所述窗口前驱物组成物的液滴和所述第二前驱物组成物的液滴于界面处形成化学键。

4.如权利要求1所述的方法，其中形成所述第一层包括：形成多个第一子层，所述多个第一子层各自通过分配所述第一前驱物组成物的液滴和所述窗口前驱物组成物的液滴而形成，且其中在所述多个第一子层中每一层的部分硬化期间，所述第一前驱物组成物的液滴和所述窗口前驱物组成物的液滴于界面处形成化学键。

5.如权利要求4所述的方法，其中所述窗口前驱物组成物包含第一组分，所述第一组分选自由丙烯酸酯系单体、丙烯酸甲酯系单体、丙烯酸酯系寡聚物、丙烯酸甲酯系寡聚物或上述组成物的组合所组成的群组。

6.如权利要求5所述的方法，其中所述窗口前驱物组成物进一步包含第二组分，所述第二组分选自由2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉基丙-1-酮、1-羟基环己基苯基酮、寡聚α-羟基酮和上述组成物的组合所组成的群组。

7.如权利要求4所述的方法，其中所述窗口前驱物组成物包含第一组分，所述第一组分选自由异莰基丙烯酸酯、异莰基丙烯酸甲酯、二环戊基丙烯酸酯、二环戊基丙烯酸甲酯、四氢呋喃丙烯酸酯、月桂基丙烯酸酯、2-(((丁基胺基)羰基)氧基)乙基丙烯酸酯、SR420、CN131、二丙二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇丙烯酸酯、环氧丙基丙烯酸酯、多官能基聚醚丙烯酸酯、多官能基聚酯丙烯酸酯、多官能基胺甲酸乙酯丙烯酸酯、多官能基环氧丙烯酸酯和上述组成物的组合所组成的群组。

8.如权利要求7所述的方法，其中所述窗口前驱物组成物进一步包含纳米粒子，所述纳米粒子选自由氧化钛、氧化锆、硫酸锆、丙烯酸锆、丙烯酸铪和上述纳米粒子的组合所组成的群组。

9.如权利要求8所述的方法，其中所述第一抛光元件、所述窗口特征和所述一或更多第二抛光元件形成连续聚合物相。

10.一种形成抛光垫的方法，包含：

通过分配第一前驱物组成物，以形成所述抛光垫的第一层，其中所述第一层包含至少一部分的子抛光元件，所述至少一部分的子抛光元件具有开口，所述开口设置穿过所述至少一部分的子抛光元件；

使置于所述第一层内的所分配的第一前驱物组成物部分硬化，以形成至少部分硬化的第一层；

通过分配第二前驱物组成物，以在所述至少部分硬化的第一层上形成第二层，其中所述第二层包含一或更多抛光元件，且所述开口被进一步设置穿过所述第二层；

使所述第二层内的所分配的第二前驱物组成物部分硬化；以及

通过将窗口前驱物组成物分配到所述开口内并使所述窗口前驱物组成物硬化，以在所述开口中形成窗口。

11.如权利要求10所述的方法，进一步包括：在硬化前，将UV光学透明聚合物片放置在所述窗口前驱物组成物上。