[发明专利]荧光X射线分析的测定方法以及荧光X射线分析的测定装置

说明书

本发明的目的在于提供一种能够高精度地测定含有多种添加剂和金属的被测定液中包含的各种金属浓度的测定方法以及测定装置。一种荧光X射线分析的测定方法，基于荧光X射线强度测定值来测定含有1种以上的添加剂和金属的被测定液中包含的测定对象金属的各种金属浓度，该测定方法包括以下工序：校准曲线多项式决定工序(S11)，决定测定对象金属的校准曲线的多项式近似式；液体种类校正多项式决定工序(S12)，决定用于针对测定对象金属的荧光X射线强度测定值校正因含有添加剂而引起的测定值的误差的多项式近似式；比重校正多项式决定工序(S13)，决定用于针对测定对象金属的荧光X射线强度测定值校正由被测定液的比重的差异引起的测定值的误差的多项式近似式；以及金属浓度测定工序(S14)，使用通过校准曲线多项式决定工序、液体种类校正多项式决定工序以及比重校正多项式决定工序决定的多项式近似式，来测定测定对象金属的各种金属浓度。

技术领域

本发明涉及一种通过荧光X射线分析来测定含有多种添加剂和金属的被测定液中包含的测定对象金属的各种金属浓度的测定方法以及通过荧光X射线分析来测定各种金属浓度的测定装置。本申请以2017年8月7日在日本申请的日本专利申请特愿2017-152517为基础来要求优先权，通过参照该申请而被本申请引用。

背景技术

为了对在电子学领域中使用的电镀液等被测定液中包含的各种金属浓度进行测定，使用荧光X射线分析。在大多情况下，在被测定液中不仅含有金属成分，还含有多种添加剂成分。在对这样的被测定液中包含的各种金属浓度进行测定的情况下，测定对象成分的荧光X射线强度受到由测定对象外的添加剂等引起的X射线的衰减的影响。

因此，为了测定各种金属浓度，需要使用校准曲线并根据X射线强度进行与X射线的特性相应的强度的校正。

例如，在专利文献1中，求出以电镀液中包含的各种金属浓度和关于各成分的荧光X射线强度为变量来表示它们的关系的联立方程式的常数，根据对各成分的浓度已知的标准试样测定荧光X射线强度得到的结果，来求出各种金属浓度。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特公平3-32735号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，在上述方法中，即使在测定对象物质相同的情况下，在每个液体种类中含有的添加剂的成分种类或混合比率不同、各种金属或添加剂的浓度发生变化时，也无法高精度地测定各种金属浓度。

因此，本发明的目的在于提供一种能够高精度地测定含有多种添加剂和金属的被测定液中包含的各种金属浓度的测定方法以及测定装置。

用于解决问题的方案

本发明的一个方式所涉及的测定方法是一种荧光X射线分析的测定方法，基于荧光X射线强度测定值来测定含有1种以上的添加剂和金属的被测定液中包含的测定对象金属的各种金属浓度，所述荧光X射线分析的测定方法包括以下工序：校准曲线多项式决定工序，决定所述测定对象金属的校准曲线的多项式近似式；液体种类校正多项式决定工序，决定用于针对所述测定对象金属的所述荧光X射线强度测定值校正因含有所述添加剂而引起的测定值的误差的多项式近似式；比重校正多项式决定工序，决定用于针对所述测定对象金属的所述荧光X射线强度测定值校正由所述被测定液的比重的差异引起的测定值的误差的多项式近似式；以及金属浓度测定工序，使用通过所述校准曲线多项式决定工序、所述液体种类校正多项式决定工序以及所述比重校正多项式决定工序决定的多项式近似式，来测定所述测定对象金属的各种金属浓度。

如果这样，则能够高精度地测定含有多种添加剂和金属的被测定液中包含的各种金属浓度。