[发明专利]自动缺陷分类

权利要求书

1.一种用于自动缺陷分类方法，该方法包括：

通过第一相机获取对象的至少一个区域的至少一个第一图像；

处理所述至少一个第一图像以检测在所述至少一个区域内的疑似缺陷的组；

进行第一分类过程以初始分类所述疑似缺陷的所述组；

确定所述疑似缺陷的第一子组是否需要来自第二相机的附加信息以完成分类；

当确定所述疑似缺陷的所述第一子组需要来自所述第二相机的附加信息时，则：

通过所述第二相机获取所述疑似缺陷的所述第一子组的第二图像；以及

进行第二分类过程以分类所述疑似缺陷的所述第一子组，

其中，所述确定响应于：

(a)所述疑似缺陷的临界性；

(b)所述第一分类过程的准确性；以及

(c)所述第一分类过程的与疑似缺陷的类型相关的可靠性与所述第二分类过程的与疑似缺陷的类型相关的可靠性之间的差异，其中，所述可靠性由成功率、误警报率、和误检出率来反映。

2.根据权利要求1所述的方法，包括获取所述第二图像而不获取不属于所述疑似缺陷的所述第一子组的疑似缺陷的图像。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一相机的吞吐量超过所述第二相机的吞吐量。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一相机的分辨率比所述第二相机的分辨率粗糙。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一相机是黑白相机以及所述第二相机选自红外相机、近红外相机和三维轮廓仪。

6.根据权利要求1所述的方法，包括在获取所述至少一个第一图像期间、在获取所述第二图像期间以及在获取所述至少一个第一图像和获取所述第二图像之间，将晶片保持在卡盘上。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述确定响应于所述第一相机和第二相机的图像获取参数之间的差异。

8.根据权利要求1所述的方法，包括用更多的资源进行检查更关键的缺陷。

9.根据权利要求8所述的方法，其中所述更关键的缺陷是致命缺陷。

10.根据权利要求1所述的方法，其中在没有人为干预的情况下进行所述确定。

11.一种非暂时性计算机可读介质，其存储指令，所述指令一旦由计算机化系统执行，使所述计算机化系统执行以下步骤：通过第一相机获取对象的至少一个区域的至少一个第一图像；处理所述至少一个第一图像以检测在所述至少一个区域内的疑似缺陷的组；进行第一分类过程以初始分类所述疑似缺陷的所述组；确定所述疑似缺陷的第一子组是否需要来自第二相机的附加信息以完成分类；当确定所述疑似缺陷的所述第一子组需要来自所述第二相机的附加信息时，则：通过所述第二相机获取所述疑似缺陷的所述第一子组的第二图像；以及进行第二分类过程以分类所述疑似缺陷的所述第一子组，

其中，所述确定响应于：(a)所述疑似缺陷的临界性；(b)所述第一分类过程的准确性；以及(c)所述第一分类过程的与疑似缺陷的类型相关的可靠性与所述第二分类过程的与疑似缺陷的类型相关的可靠性之间的差异，其中，所述可靠性由成功率、误警报率、和误检出率来反映。

12.根据权利要求11所述的非暂时性计算机可读介质，其存储用于获取所述第二图像而不获取不属于所述疑似缺陷的所述第一子组的疑似缺陷的图像的指令。

13.根据权利要求11所述的非暂时性计算机可读介质，其中所述第一相机的吞吐量超过所述第二相机的吞吐量。

14.根据权利要求11所述的非暂时性计算机可读介质，其中所述第一相机的分辨率比所述第二相机的分辨率粗糙。