[发明专利]光检测器

说明书

光检测器具备：基板、配置于基板的表面上的膜体、支承膜体的第一电极柱、支承膜体的第二电极柱。第一电极柱具有：呈现从第一电极焊盘向基板的相反侧扩展的筒状的第一主体部、设置于第一主体部中的基板侧的端部的第一底部、设置于第一主体部中的基板的相反侧的端部的第一凸缘部。在第一凸缘部设置有以越远离第一主体部而越接近基板的方式倾斜的第一倾斜面。第一配线层经由第一倾斜面到达第一主体部的内表面。第二电极柱及第二配线层与第一电极柱及第一配线层一样地形成。

技术领域

本发明涉及光检测器。

背景技术

作为光检测器，已知有如下光检测器，其具备：基板、以在与基板的表面之间形成空隙的方式配置于基板的表面上的膜体、支承膜体的一对电极柱，膜体具有经由间隙相互相对的一对配线层和具有依赖于温度的电阻的电阻层。这种光检测器中，电极柱呈现圆筒状，在膜体中连接有电极柱的连接部，配线层与电极柱电连接(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利申请公开第2011/42569号说明书

发明内容

发明所要解决的技术问题

上述那样的光检测器中，电极柱的外表面与膜体的连接部中的基板侧的表面垂直地交叉，因此，容易在该交叉的部分引起应力集中，其结果，在膜体中连接有电极柱的连接部，电连接可能产生不良。

因此，本发明的目的在于，提供能够在膜体中连接有电极柱的连接部抑制电连接产生不良的光检测器。

解决问题的技术手段

本发明的一个方面的光检测器，具备：基板；膜体，其具有受光部、第一连接部及第二连接部、配置于受光部与第一连接部之间的第一梁部、以及配置于受光部与第二连接部之间的第二梁部，以在与基板的表面之间形成空隙的方式配置于基板的表面上；第一电极焊盘，其形成于基板的表面；第二电极焊盘，其形成于基板的表面；第一电极柱，其配置于第一电极焊盘与第一连接部之间，支承膜体，并且将膜体与第一电极焊盘进行电连接；第二电极柱，其配置于第二电极焊盘与第二连接部之间，支承膜体，并且将膜体与第二电极焊盘进行电连接，膜体包含：第一配线层及第二配线层，其在受光部经由间隙相互相对；电阻层，其具有依赖于温度的电阻，在受光部与第一配线层及第二配线层分别进行电连接，第一电极柱具有：第一主体部，其呈现从第一电极焊盘向基板的相反侧扩展的筒状；第一底部，其设置于第一主体部的基板侧的端部；第一凸缘部，其设置于第一主体部中的基板的相反侧的端部，在第一凸缘部设置有以越远离第一主体部而越接近基板的方式倾斜的第一倾斜面，第一配线层经由第一梁部向第一连接部延伸，并经由第一倾斜面到达第一主体部的内表面，第二电极柱具有：第二主体部，其呈现从第二电极焊盘向基板的相反侧扩展的筒状；第二底部，其设置于第二主体部的基板侧的端部；第二凸缘部，其设置于第二主体部中的基板的相反侧的端部，在第二凸缘部设置有以越远离第二主体部而越接近基板的方式倾斜的第二倾斜面，第二配线层经由第二梁部向第二连接部延伸，并经由第二倾斜面到达第二主体部的内表面。

该光检测器中，第一电极柱的第一主体部呈现从第一电极焊盘向基板的相反侧扩展的筒状。因此，在膜体中连接有第一电极柱的第一连接部难以引起应力集中。第二电极柱也一样，在膜体中连接有第二电极柱的第二连接部难以引起应力集中。另外，在第一电极柱的第一主体部中的基板的相反侧的端部设置有第一凸缘部。因此，在膜体中连接有第一电极柱的第一连接部难以产生变形。第二电极柱也一样，在膜体中连接有第二电极柱的第二连接部难以产生变形。另外，第一配线层经由设置于第一凸缘部的第一倾斜面到达第一主体部的内表面。因此，在膜体中连接有第一电极柱的第一连接部，第一配线层本身难以引起应力集中。第二电极柱也一样，在膜体中连接有第二电极柱的第二连接部，第二配线层本身难以引起应力集中。通过以上所述，根据该光检测器，能够在膜体中连接有电极柱的连接部抑制电连接产生不良。