[发明专利]测量装置及照射装置

权利要求书

1.一种测量装置，包括：

第一光源和第二光源，所述第一光源发出包含两个以上以互不相同的频率进行分布的光谱的第一光谱光，所述第二光源发出包含两个以上以互不相同的频率进行分布的光谱的第二光谱光，其中，作为所述第二光谱光的相邻光谱的频率间隔的第二相邻频率间隔不同于作为所述第一光谱光的相邻光谱的频率间隔的第一相邻频率间隔；

色散部，使从所述第一光源发出的所述第一光谱光按每个所述光谱向互不相同的方向色散，使从所述第二光源发出的所述第二光谱光按每个所述光谱向互不相同的方向色散；

聚光部，将由所述色散部色散的、所述第一光源的所述光谱分别会聚到样品的多个不同聚光点，将由所述色散部色散的、所述第二光源的所述光谱分别会聚到所述样品的多个不同聚光点，并且使基于所述第一光源的多个聚光点和基于所述第二光源的多个聚光点相互重叠；

空间滤波光学系统，将荧光差拍会聚于与重叠部共轭的位置进行空间滤波，其中，所述荧光差拍通过聚光点重叠的多个重叠部的每一个处的干涉光差拍而发光且包括所述样品的信息，其中，所述聚光点由所述聚光部会聚且位于所述样品中；以及

检测部，获取由所述空间滤波光学系统进行空间滤波并从所述多个重叠部发出的包含所述样品的信息的荧光差拍的信号。

2.根据权利要求1所述的测量装置，其中，

所述第一光源是光学频率梳光源，所述光学频率梳光源发射所述第一相邻频率间隔彼此一致的光谱作为所述第一光谱光，所述第一相邻频率间隔是在频率轴上相邻的所述光谱的频率的间隔；以及

所述第二光源是光学频率梳光源，所述光学频率梳光源发射所述第二相邻频率间隔彼此一致的光谱作为所述第二光谱光，所述第二相邻频率间隔是在频率轴上相邻的所述光谱的频率的间隔。

3.根据权利要求1或2所述的测量装置，其中，

所述色散部包括对入射的光进行波长色散的色散元件，

通过所述色散元件使从所述第一光源发出的所述第一光谱光以及从所述第二光源发出的所述第二光谱光按每个所述光谱向不同方向进行波长色散。

4.根据权利要求1所述的测量装置，其中，

当在相同的频率轴上排列所述第一光谱光和所述第二光谱光时，最近相邻的光谱之间的频率间隔小于所述第一相邻频率间隔和所述第二相邻频率间隔的一半。

5.根据权利要求1所述的测量装置，其中，

还包括控制部，所述控制部控制所述第一光源发出的所述第一光谱光和所述第二光源发出的所述第二光谱光中的至少一个光谱光的载波包络偏移频率或所述至少一个光谱光的相邻频率间隔。

6.根据权利要求5所述的测量装置，其中，

所述空间滤波光学系统包括空间光调制器，所述空间光调制器能够根据由所述控制部控制的所述至少一个光谱光的所述载波包络偏移频率和所述相邻频率间隔来改变透过的光的位置和形状。

7.根据权利要求1所述的测量装置，其中，

所述检测部获得所述荧光差拍的相位信息。

8.一种照射装置，包括：

第一光源和第二光源，所述第一光源发出包含两个以上以互不相同的频率进行分布的光谱的第一光谱光，所述第二光源发出包含两个以上以互不相同的频率进行分布的光谱的第二光谱光，其中，作为所述第二光谱光的相邻光谱的频率间隔的第二相邻频率间隔不同于作为所述第一光谱光的相邻光谱的频率间隔的第一相邻频率间隔；

色散部，使从所述第一光源发出的所述第一光谱光按每个所述光谱向互不相同的方向色散，并且使从所述第二光源发出的所述第二光谱光按每个所述光谱向互不相同的方向色散；以及

聚光部，将由所述色散部色散的、所述第一光源的所述光谱分别会聚到样品的多个不同聚光点，将由所述色散部色散的、所述第二光源的所述光谱分别会聚到所述样品的多个不同聚光点，并且使基于所述第一光源的多个聚光点和基于所述第二光源的多个聚光点相互重叠。