[发明专利]MEMS振动元件、MEMS振动元件的制造方法及振动发电元件

权利要求书

1.一种MEMS振动元件，其特征在于，具备：

基体部；

固定部，其固定于上述基体部；

可动部，其相对于上述固定部可动；以及

弹性支撑部，其将上述可动部弹性支撑于上述基体部，

上述弹性支撑部由与上述固定部及上述可动部不同的材料形成。

2.根据权利要求1所述的MEMS振动元件，其特征在于，

上述弹性支撑部由与构成上述固定部及上述可动部的材料相比断裂韧性值较高的材料形成。

3.根据权利要求1或2所述的MEMS振动元件，其特征在于，

上述弹性支撑部由金属形成。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的MEMS振动元件，其特征在于，

上述弹性支撑部由断裂韧性值为10[MPa·m^1/2]以上的材料形成。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的MEMS振动元件，其特征在于，

上述固定部及上述可动部由硅形成。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的MEMS振动元件，其特征在于，

上述固定部和上述可动部构成梳齿构造。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的MEMS振动元件，其特征在于，

上述弹性支撑部由平板构成，且在与连结上述可动部和上述基体部的预定方向正交的方向上的宽度在至少一部分根据上述预定方向的位置而不同。

8.一种MEMS振动元件的制造方法，其特征在于，包括以下各工序：

形成基体部的工序；

形成固定部的工序；

形成可动部的工序；

由与上述固定部及上述可动部不同的材料形成弹性支撑部的工序；

将上述弹性支撑部的一端连接于上述基体部的工序；以及

将上述弹性支撑部的另一端连接于上述可动部的工序。

9.根据权利要求8所述的MEMS振动元件的制造方法，其特征在于，

由与上述固定部及上述可动部的材料相比断裂韧性值较大的材料形成上述弹性支撑部。

10.根据权利要求8或9所述的MEMS振动元件的制造方法，其特征在于，

利用光刻法来进行上述固定部的形成及上述可动部的形成。

11.根据权利要求10所述的MEMS振动元件的制造方法，其特征在于，

在上述光刻法中，从同一基体材料形成上述固定部、上述可动部以及结合上述固定部和上述可动部的结合部，并且，

在将上述弹性支撑部的一端连接于上述基体部、而且将上述弹性支撑部的另一端连接于上述可动部之后，除去上述结合部而使上述固定部与上述可动部分离。

12.一种振动发电元件，其特征在于，

具备权利要求1至7中任一项所述的MEMS振动元件，并且，

上述固定部具备固定电极，

上述可动部具备可动电极，

上述固定电极或上述可动电极的至少一方在表面具有驻极体。