[发明专利]扭矩检测器有效
| 申请号： | 201880051544.7 | 申请日： | 2018-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN111033198B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 瀬戸祐希;石仓义之;小笠原里奈 | 申请（专利权）人： | 阿自倍尓株式会社 |
| 主分类号： | G01L3/10 | 分类号： | G01L3/10 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 日本东京千代*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扭矩 检测器 | ||
【权利要求书】：
1.一种扭矩检测器，包括：
基板层，包括电阻计，根据外力而产生应变；
绝缘层，一面与所述基板层的至少两端接合，与所述一面相向的相向面的长边方向两端与旋转轴体接合；以及
槽部，形成于所述绝缘层的所述相向面，在所述相向面的长边方向两端构成接合部；并且
所述接合部直接与所述旋转轴体接合。
2.根据权利要求1所述的扭矩检测器，其特征在于，
所述基板层是硅层。
3.根据权利要求2所述的扭矩检测器，其特征在于，
所述硅层的表面的结晶定向为(100)。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的扭矩检测器，其特征在于，
所述电阻计是通过成膜于所述基板层而形成。
5.根据权利要求2或3所述的扭矩检测器，其特征在于，
所述电阻计形成于所述硅层的110方向上。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的扭矩检测器，其特征在于，
所述绝缘层包括具有间隙而配置的第一绝缘层及第二绝缘层，
所述第一绝缘层及所述第二绝缘层直接与所述旋转轴体接合。
7.根据权利要求1至3中任一项所述的扭矩检测器，其特征在于，
所述绝缘层通过粘接构件，而直接与所述旋转轴体接合。
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