[发明专利]制造具有多个图案区域的模块的方法、根据该方法的具有多个图案区域的模块以及制造衍射光栅模块或衍射光栅模块用模具的方法

权利要求书

1.一种制造具有多个图案区域的模块的方法，所述具有多个图案区域的模块用于制造包括具有不同衍射光栅图案的第一衍射光栅元件和第二衍射光栅元件的衍射光栅模块，所述方法包括：

(a)将形成有第一图案的第一基底设置在基础基底上；

(b)在所述第一基底上形成第一切割线，所述第一切割线的布局对应于第一衍射光栅元件的布局；

(c)在所述第一基底上形成第二切割线，所述第二切割线的布局对应于第二衍射光栅元件的布局；

(d)从所述第一基底除去由所述第一切割线限定的第一区域和由所述第二切割线限定的第二区域中的任一者；

(e)在从所述第一基底除去的被除去区域中设置第二基底，所述第二基底形成有与所述第一图案不同的第二图案并且具有对应于所述被除去区域的布局；以及

(f)从所述基础基底除去所述第一基底而留下所述第一区域和所述第二区域。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一衍射光栅元件与所述第二衍射光栅元件之间的对准关系在所述衍射光栅模块中被设定，以及

在操作(b)和(c)中，所述第一切割线或所述第二切割线形成为对应于所述对准关系。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一切割线的所述布局为对应于所述第一衍射光栅元件的所述布局的图像，以及

所述第二切割线的所述布局为对应于所述第二衍射光栅元件的所述布局的图像。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一切割线的所述布局为相对于所述第一衍射光栅元件的所述布局的反转图像，以及

所述第二切割线的所述布局为相对于所述第二衍射光栅元件的所述布局的反转图像。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述衍射光栅模块包括第三衍射光栅元件，所述第三衍射光栅元件具有与所述第一衍射光栅元件和所述第二衍射光栅元件中的至少一者的衍射光栅图案不同的衍射光栅图案，以及

所述方法还包括：(g)在所述第一基底上形成第三切割线，所述第三切割线的布局对应于所述第三衍射光栅元件的布局，以及

由所述第三切割线限定第三区域，以及

在操作(f)中，从所述基础基底除去所述第一基底而留下所述第一区域、所述第二区域和所述第三区域。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述第一衍射光栅元件、所述第二衍射光栅元件和所述第三衍射光栅元件之间的对准关系在所述衍射光栅模块中被设定，以及

在操作(b)、(c)和(g)中，所述第一切割线、所述第二切割线或所述第三切割线形成为对应于所述对准关系。

7.根据权利要求5所述的方法，其中所述第一切割线的布局为对应于所述第一衍射光栅元件的布局的图像，

所述第二切割线的布局为对应于所述第二衍射光栅元件的布局的图像，以及

所述第三切割线的布局为对应于所述第三衍射光栅元件的布局的图像。

8.根据权利要求5所述的方法，其中所述第一切割线的布局为相对于所述第一衍射光栅元件的布局的反转图像，

所述第二切割线的布局为相对于所述第二衍射光栅元件的布局的反转图像，以及

所述第三切割线的布局为相对于所述第三衍射光栅元件的布局的反转图像。

9.一种具有多个图案区域的模块，其通过根据权利要求1至8中任一项所述的方法来制造。

10.根据权利要求9所述的模块，其中所述具有多个图案区域的模块为用于制造包括具有不同衍射光栅图案的第一衍射光栅元件和第二衍射光栅元件的衍射光栅模块的衍射光栅模块用模具。

11.一种制造衍射光栅模块或衍射光栅模块用模具的方法，所述方法包括：

制备根据权利要求9所述的具有多个图案区域的模块；

将树脂组合物施加在所述具有多个图案区域的模块上；

通过使所述树脂组合物固化来形成对应于所述多个图案区域的相应图案区域；以及

将所述具有所述多个图案区域的模块与所述相应图案区域分离。