[发明专利]液体测微器

权利要求书

1.一种液体测微器，将从液体供给单元供给的液体从排出喷嘴朝向工件喷出而测量所述工件的尺寸，其特征在于，包括：

液体流路，从所述液体供给单元将所述液体供给至所述排出喷嘴；

流量传感器，设置在所述液体流路；

控制阀，设置在所述液体供给单元与所述流量传感器之间的所述液体流路；

控制部，以由所述流量传感器测量的流量成为设定值的方式控制所述控制阀；

压力传感器，测量从所述排出喷嘴喷出的所述液体的压力；

运算部，根据通过所述控制部将所述流量保持为所述设定值的状态下的所述压力传感器所测量的所述压力来运算所述工件的所述尺寸，

所述流量传感器由多个压力传感器构成，将构成所述流量传感器的任一个所述压力传感器用作测量从所述排出喷嘴喷出的所述液体的所述压力的所述压力传感器。

2.如权利要求1所述的液体测微器，其特征在于，包括：

循环流路，从所述液体供给单元与所述控制阀之间的所述液体流路分流，与所述液体供给单元的上游侧流路合流；

循环控制阀，设置在所述循环流路。

3.如权利要求1或2所述的液体测微器，其特征在于，

使所述液体流路及所述排出喷嘴由金属、合金钢、玻璃、陶瓷或工程塑料形成。

4.如权利要求1或2所述的液体测微器，其特征在于，

使所述液体为动力粘度不足20mPa·s的低粘度液体。

5.如权利要求1或2所述的液体测微器，其特征在于，

使所述液体为硅晶圆的蚀刻液。