[发明专利]含有固体碳的材料的加工体、其制造方法和其制造装置

权利要求书

1.一种含有固体碳的材料的加工体的制造方法，所述方法包括：

准备所述含有固体碳的材料的步骤，所述含有固体碳的材料至少具有由含有固体碳的材料构成的表面；

形成气相流体的步骤，所述气相流体含有对所述固体碳具有活性的活性气体或活性等离子体中的至少一种；和

通过将所述气相流体喷射到所述含有固体碳的材料的所述表面的至少一部分上来加工所述含有固体碳的材料的步骤。

2.根据权利要求1所述的含有固体碳的材料的加工体的制造方法，其中当将所述气相流体喷射到所述含有固体碳的材料的所述表面的至少一部分上时，使所述气相流体的喷射口和所述含有固体碳的材料相对移动。

3.根据权利要求1或2所述的含有固体碳的材料的加工体的制造方法，其中喷射所述气相流体的气氛压力为0.2atm以上。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的含有固体碳的材料的加工体的制造方法，其中所述气相流体为具有300℃以上的温度的热流体。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的含有固体碳的材料的加工体的制造方法，其中在从所述喷射口中喷射之前，通过0.2MHz以上且5GHz以下的高频放电、无线电波电弧放电或直流电弧放电中的至少一种方法来激发所述活性等离子体。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的含有固体碳的材料的加工体的制造方法，其中所述活性等离子体含有选自由O₂、CO₂、CO、NO₂、N₂O、H₂O和H₂构成的组中的至少任意一者的离子和自由基中的至少任意一者的激发物种。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的含有固体碳的材料的加工体的制造方法，其中所述活性气体含有选自由O₂、CO₂、CO、NO₂、N₂O、H₂O和H₂构成的组中的至少任意一种分子。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的含有固体碳的材料的加工体的制造方法，其中所述气相流体的喷射口具有小于1cm的直径。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的含有固体碳的材料的加工体的制造方法，其中所述含有固体碳的材料至少具有含有SP3键合的固体碳或SP2键合的固体碳中的至少一种的表面。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的含有固体碳的材料的加工体的制造方法，其中所述含有固体碳的材料至少具有含有单晶金刚石或多晶金刚石中的至少一种的表面。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的含有固体碳的材料的加工体的制造方法，其中所述含有固体碳的材料至少具有如下表面：

所述表面具有含有单晶金刚石或多晶金刚石中的至少一种的层和含有石墨的层的层压结构。

12.一种用于根据权利要求1至11中任一项所述的含有固体碳的材料的加工体的制造方法的、含有固体碳的材料的加工体的制造装置，所述装置包括：

被构造为保持所述含有固体碳的材料的材料保持部；

被构造为形成所述气相流体的流体形成部；

包括被构造为喷射所述气相流体的喷射口的流体喷射部；和

被构造为控制所述含有固体碳的材料或所述喷射口的至少一者的位置的控制部。

13.一种含有固体碳的材料的加工体，所述加工体至少包含由含有固体碳的材料构成的加工表面，

其中：

所述加工表面包括向内凸起的凹部和向外凸起的凸部；并且

当从与所述加工表面的最小二乘平面垂直的方向观察所述加工表面时，所述凹部的总面积占所述加工表面的总面积的60％以上。