[发明专利]含有固体碳的材料的加工体和其制造方法

权利要求书

1.一种含有固体碳的材料的加工体的制造方法，所述方法包括：

准备所述含有固体碳的材料的步骤，所述含有固体碳的材料至少具有由固体碳构成的表面；和加工所述含有固体碳的材料的步骤，

其中加工所述含有固体碳的材料的步骤包括：

通过对所述含有固体碳的材料的所述表面中的所述固体碳进行热处理而形成非金刚石碳的子步骤；和

去除所述非金刚石碳的至少一部分的子步骤。

2.根据权利要求1所述的含有固体碳的材料的加工体的制造方法，其中对所述固体碳进行热处理的气氛中的氧分压为0.133Pa以下。

3.根据权利要求1或2所述的含有固体碳的材料的加工体的制造方法，其中加工所述含有固体碳的材料的步骤在所述形成非金刚石碳的子步骤之前还包括在所述表面的至少一部分上形成金属层的子步骤。

4.根据权利要求3所述的含有固体碳的材料的加工体的制造方法，其中所述金属层含有选自由铁、钴、镍、铑、钯、铂、铱和锰构成的组中的至少一种金属元素。

5.根据权利要求3所述的含有固体碳的材料的加工体的制造方法，其中所述金属层含有选自由钛、锆、铪、钒、铌、钽、铬、钼和钨构成的组中的至少一种金属元素。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的含有固体碳的材料的加工体的制造方法，其中去除所述非金刚石碳的至少一部分的方法为以下方法中的至少一种：

使用含有气体的气相流体处理所述非金刚石碳的方法，所述气体含有选自由氧分子、氢分子和水分子构成的组中的至少一种分子；

使用含有等离子体的气相流体处理所述非金刚石碳的方法，所述等离子体含有选自由氧原子、氢原子、氦原子和氩原子构成的组中的至少一种原子；

使用离子束处理所述非金刚石碳的方法，所述离子束含有选自由氧离子、氢离子、氢氧根离子、氦离子和氩离子构成的组中的至少一种离子；和

通过机械处理和物理处理中的至少一种去除所述非金刚石碳的方法。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的含有固体碳的材料的加工体的制造方法，其中去除所述非金刚石碳的部分为所述表面的一部分。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的含有固体碳的材料的加工体的制造方法，其中去除所述非金刚石碳的至少一部分的方法为以下中的至少一种方法：

使用气相流体的处理方法，所述气相流体具有小于所述含有固体碳的材料的所述表面上的内接圆的半径的直径；

使用离子束的处理方法，所述离子束具有小于所述含有固体碳的材料的所述表面上的内接圆的半径的直径；和

利用具有开口部的掩模的方法，所述开口部具有直径小于所述含有固体碳的材料的内接圆的半径的外接圆。

9.一种含有固体碳的材料的加工体，所述加工体包含加工表面，所述加工表面的至少一部分由固体碳构成，

其中：

所述含有固体碳的材料的加工体的所述加工表面具有在所述加工表面中形成的小凹凸的最大高度为20μm以下的平滑形状；或具有如下形状：其具有在所述加工表面中的平滑表面中形成且具有30μm以上的最小高度的凹凸；并且

所述加工表面具有1mm见方以上的尺寸，并且所述加工表面中的抛光损伤点的密度为10个点/mm²以下。

10.根据权利要求9所述的含有固体碳的材料的加工体，其中所述加工表面中金属原子的密度为1ppb以上。

11.根据权利要求9或10所述的含有固体碳的材料的加工体，其中所述加工表面具有周期性的小凹凸曲面。