[发明专利]真空泵和控制装置

权利要求书

1.一种真空泵，其特征在于，具备：

旋转体，被电磁铁悬浮支承在空中；

位置传感器，对该旋转体的径向或轴向的位置进行检测；

减法运算器，运算由该位置传感器检测出的位置与移位指令值的差；

高刚性模式调整单元，将该减法运算器的输出调整为高刚性；

低刚性模式调整单元，将所述减法运算器的输出调整为低刚性；

输出信号合成单元，将该低刚性模式调整单元的输出信号和所述高刚性模式调整单元的输出信号合成；以及

放大单元，对由该输出信号合成单元合成出的输出信号进行放大，

基于由该放大单元放大后的输出信号，电流在所述电磁铁的卷线中流动，

基于第一比率来调整由所述高刚性模式调整单元调整的信号和由所述低刚性模式调整单元调整的信号。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，具备信号提取单元，所述信号提取单元提取由所述低刚性模式调整单元调整的信号，

基于由该信号提取单元提取出的信号来设定所述第一比率。

3.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于，具备信号变化判断单元，所述信号变化判断单元判断由所述信号提取单元提取出的信号的变化是否为预先确定的规定值以上，

在通过该信号变化判断单元判断为所述信号的变化为预先确定的规定值以上时，以PWM频率的时钟宽度的几倍的时间从利用所述低刚性模式调整单元的调整切换为利用所述高刚性模式调整单元的调整。

4.根据权利要求3所述的真空泵，其特征在于，所述信号变化判断单元中的信号的变化基于针对在所述电磁铁的卷线中流动的电流的电流指令值、该电流指令值的增减值、或所述时钟宽度以上的期间内的指示电流的变化量的平均值的任一个。

5.根据权利要求1~4的任一项所述的真空泵，其特征在于，还具备高偏置模式调整单元，所述高偏置模式调整单元在所述旋转体的制动信号被输入时将所述减法运算器的输出调整为高偏置，

基于第二比率来调整由该高偏置模式调整单元调整的信号和由所述输出信号合成单元合成出的输出信号，基于所述第二比率调整后的信号被输入到所述放大单元中。

6.根据权利要求5所述的真空泵，其特征在于，所述第一比率和所述第二比率随着时间的经过在0~1的范围内变化，

花费几秒缓慢进行从利用所述高刚性模式调整单元的调整向利用所述低刚性模式调整单元的调整的切换、或者从利用所述高刚性模式调整单元的调整或利用所述低刚性模式调整单元的调整向利用所述高偏置模式调整单元的调整的切换。

7.根据权利要求5所述的真空泵，其特征在于，

对将所述减法运算器的输出进行PID调节后的信号加上供高刚性用而设定的稳定电流来生成由所述高刚性模式调整单元调整的信号，

对将所述减法运算器的输出进行PID调节后的信号加上供低刚性用而设定的稳定电流来生成由所述低刚性模式调整单元调整的信号，

对将所述减法运算器的输出进行PID调节后的信号加上供高偏置用而设定的稳定电流来生成由所述高偏置模式调整单元调整的信号。

8.根据权利要求7所述的真空泵，其特征在于，各所述稳定电流的大小的关系是：所述供低刚性用而设定的稳定电流为所述供高刚性用而设定的稳定电流以下，并且，该供高刚性用而设定的稳定电流比所述供高偏置用而设定的稳定电流小。

9.一种在权利要求1~8的任一项所述的真空泵中具备的控制装置，其特征在于，所述控制装置具备：所述减法运算器、所述高刚性模式调整单元、所述低刚性模式调整单元、所述输出信号合成单元、所述放大单元。