[发明专利]电极膜及其制造方法

说明书

提供网格图案的不可视性以及图像的可视性优异的电极膜及其制造方法。电极膜的制造方法具备下面的工序：在透明基材的第一主面上依次层叠金属层、黑色光致抗蚀剂层的工序；对上述黑色光致抗蚀剂层局部曝光、显影从而图案化为网格形状的工序；以图案化的上述黑色光致抗蚀剂层作为蚀刻掩模蚀刻上述金属层直至上述金属层变为相比于构成上述黑色光致抗蚀剂层的网格的细线的宽度小的宽度为止，从而将上述金属层加工为金属网格电极的工序；以及对上述黑色光致抗蚀剂层进行加热并使其软化，通过软化的上述黑色光致抗蚀剂层的垂下，不仅被覆构成上述金属网格电极的网格的细线的上表面，还被覆至构成上述金属网格电极的网格的细线的两侧面的工序。

技术领域

本发明涉及电极为金属网格的电极膜及其制造方法。

背景技术

近年，触摸面板作为各种电子设备的输入装置正在普及。在触摸面板中，电阻膜方式(Resistive Type)、静电电容方式(Capacitive Type)等各种方式的面板已被实用化。

触摸面板通常使用在由玻璃板或聚对苯二甲酸乙二酯膜等构成的透明基材的单侧的面上形成有由ITO(Indium Tin oxide；氧化铟锡)薄膜构成的透明导电膜的结构作为触摸面板用电极构件(专利文献1)。

但是，由ITO薄膜构成的透明导电膜在因为使用铟这种稀有金属(稀土类元素)而高价这点、以及为了实现触摸面板的大面积化而电阻(表面电阻率)为高电阻这点，不易与低成本化及大画面化的要求对应。

因此，提出在透明基材上取代ITO薄膜的透明导电膜而形成有由金属细线图案构成的金属网格的触摸面板用电极构件(专利文献2)。根据金属网格，能够比ITO薄膜低成本且低电阻。

该金属网格电极在作为触摸面板用电极时，与由ITO薄膜构成的透明电极比较，不可视性成为问题。另外，形成网格图案的金属层呈现比较高的反射率，因此外光被漫反射，网格图案可被看到，导致触摸面板装置的图像对比度降低。因此，将黑化层配置于金属层的观察者侧。通过该黑化层使网格图案的不可视性提高，提高图像对比度，能够改善图像的可视性。

这样的触摸面板用电极通过首先在透明基材上层叠金属薄膜以及黑化层、接下来利用使用了光刻技术的蚀刻将该金属薄膜以及黑化层图案化，由此制成。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-310551号公报

专利文献2：日本特开2011-134311号公报。

发明内容

发明要解决的课题

然而，即便为具有该黑化层的金属网格电极，也由于仅在利用蚀刻而图案化的金属层的上表面存在黑化层，所以因为金属层露出的侧面，而使网格图案的不可视性以及图像的可视性仍然不足。

本发明的目的在于提供网格图案的不可视性以及图像的可视性优异的电极膜及其制造方法。

用于解决课题的方案

下面，作为用于解决课题的方案，对多个方式进行说明。这些方式能够根据需要任意地组合。

本发明的电极膜具备：透明基材；金属网格电极，设置在透明基材的第一主面上；以及黑色光致抗蚀剂层，设置于构成金属网格电极的网格的细线的上表面及两侧面。

在该电极膜中，构成金属网格电极的网格的细线的上表面以及两侧面由黑色光致抗蚀剂层遮蔽。由此，可抑制在成为触摸面板用电极时外光在细线的上表面以及两侧面的漫反射，因此网格图案不被看出，触摸面板的图像对比度提高，能够改善图像的可视性。