[发明专利]制造异种材料接合体的方法

权利要求书

1.一种制造异种材料接合体的方法，其中，所述方法包括：

向玻璃层的表面照射第一激光，以在所述玻璃层的该表面上形成两条以上的蚀刻线；

在形成有所述蚀刻线的所述玻璃层上设置树脂层；和

向设置有所述树脂层的所述玻璃层的表面照射第二激光，使得所述蚀刻线和所述玻璃层的所述表面被所述树脂层填充，以将所述树脂层和所述玻璃层接合，

其中，形成有所述蚀刻线的所述玻璃层在1,064nm的波长下的透光率相对于所述玻璃层在1,064nm的波长下的透光率是40％以上且98％以下，

所述第二激光沿着从所述玻璃层到所述树脂层的方向照射，在与所述树脂层接触的所述玻璃层的表面上聚焦，

其中，所述玻璃层包括硼硅酸盐玻璃、热强化玻璃和离子强化玻璃中的至少一种，

其中，所述蚀刻线从所述玻璃层的表面的深度为10μm以上且300μm以下，

其中，所述蚀刻线的间距为50μm以上且1200μm以下。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述玻璃层的厚度为1.5mm以上且10mm以下。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一激光是皮秒脉冲激光。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一激光的照射间隙为50μm以上且1200μm以下。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一激光的照射次数为1次以上且50次以下。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一激光的输出为10W以上且50W以下。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一激光的照射速度为50mm/s以上且500mm/s以下。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第二激光是光纤脉冲激光。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第二激光的输出为5W以上且100W以下。

10.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第二激光的照射速度为20mm/s以上且500mm/s以下。

11.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第二激光的照射次数为1次以上且40次以下。

12.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第二激光的照射间隙为100μm以上且2,000μm以下。