[发明专利]在激光扫描显微镜中扫描激发辐射和/或操纵辐射的光学组件以及激光扫描显微镜

权利要求书

1.一种光学布置，用于在激光扫描显微镜中扫描激发辐射和/或操纵辐射，所述光学布置

包括扫描光学单元(SO)，作为第一聚焦装置以提供第一光瞳平面(P1)，

包括第一光束偏转装置，所述第一光束偏转装置由在所述第一光瞳平面(P1)中布置的第一扫描仪(S1)形成，用于在第一坐标方向(y)上扫描所述激发辐射(16)和/或操纵辐射(10)，

包括第二聚焦装置(H1)，用于生成关于所述第一光瞳平面(P1)光学共轭的第二光瞳平面(P2)，

包括第二光束偏转装置，用于偏转所述激发辐射(16)和/或操纵辐射(10)，所述第二光束偏转装置布置在所述第二光瞳平面(P2)中，

其特征在于，

存在第三聚焦装置(H2)，用于生成相对于所述第一光瞳平面(P1)光学共轭的第三光瞳平面(P3)，

在所述第三光瞳平面(P3)中布置第三光束偏转装置，用于偏转所述激发辐射(16)和/或操纵辐射(10)，

存在可变光束偏转构件(20)，用于在第一光束路径和第二光束路径之间切换光束路线，

所述第一光束路径至少从所述可变光束偏转构件(20)、经由所述第三光束偏转装置、同时绕过所述第二光束偏转装置行进到所述第一扫描仪(S1)，和

所述第二光束路径至少从所述可变光束偏转构件(20)、同时绕过所述第三光束偏转装置、经由所述第二光束偏转装置行进到所述第一扫描仪(S1)。

2.根据权利要求1所述的光学布置，

其特征在于，所述光学布置用于激光扫描荧光显微镜中扫描激发辐射和/或操纵辐射。

3.根据权利要求1或2所述的光学布置，

其特征在于，

所述第二聚焦装置(H1)和/或所述第三聚焦装置(H2)是凹面反射镜。

4.根据权利要求1或2所述的光学布置，

其特征在于，

所述第二聚焦装置(H1)和/或所述第三聚焦装置(H2)是复曲面凹面反射镜、或球面凹面反射镜。

5.根据权利要求1或2所述的光学布置，

其特征在于，

所述第一光束路径行进经由所述第三聚焦装置(H2)，和/或

所述第二光束路径行进经由所述第二聚焦装置(H1)。

6.根据权利要求1或2所述的光学布置，

其特征在于，

对于所述激发辐射(16)和所述操纵辐射(10)，所述第二光瞳平面(P2)位于所述第一光瞳平面(P1)的光束上游，并且

所述第三光瞳平面(P3)位于所述第二光瞳平面(P2)的光束上游。

7.根据权利要求1或2所述的光学布置，

其特征在于，

在所述第二光瞳平面(P2)中的所述第二光束偏转装置是第二扫描仪(S2)，所述第二扫描仪用于在第二坐标方向(x)上扫描所述激发辐射(16)和/或所述操纵辐射(10)，所述第二坐标方向(x)与所述第一坐标方向(y)不同，和/或

在所述第三光瞳平面(P3)中的所述第三光束偏转装置是第三扫描仪(S3)，所述第三扫描仪用于在第二坐标方向(x)上扫描所述激发辐射(16)和/或所述操纵辐射(10)，所述第二坐标方向(x)与所述第一坐标方向(y)不同。

8.根据权利要求1或2所述的光学布置，

其特征在于，

所述第二光束偏转装置和/或所述第三光束偏转装置是固定的反射镜、其表面能够主动地弯曲的可调整反射镜、或者是一些其他更改波前的元件。

9.根据权利要求7所述的光学布置，

其特征在于，

所述第二扫描仪(S2)是共振扫描仪，且所述第三扫描仪(S3)是准静态扫描仪，或者

所述第三扫描仪(S3)是共振扫描仪，且所述第二扫描仪(S2)是准静态扫描仪。

10.根据权利要求1或2所述的光学布置，

其特征在于，

所述第一扫描仪(S1)是准静态扫描仪。